溶胶—凝胶法制备SnO,2气敏薄膜及其性能研究.pdfVIP

摘 要 本文综述了 SnO2 气敏薄膜国内外研究现况及发展趋势，综合考虑各种制备薄 膜的方法，本实验采用工艺简单，成本低廉的薄膜制备方法——溶胶－凝胶法。 本文首先制备了纯 SnO2 气敏薄膜，研究了薄膜厚度对灵敏度的影响及薄膜电 阻与气体浓度的关系，采用针对 SnO2 薄膜提出的气体扩散模型和受到广泛认同的 晶界势垒模型对实验现象进行了分析。实验结果表明，气敏薄膜的 Sb 元素掺杂会 使薄膜的灵敏度降低，本文通过类比分析，将晶界势垒模型和异质结模型结合，解 释推导了施主掺杂对气敏性能的影响。 本文实验制备了SnO 基H S 气敏薄膜，为了提高其气敏性能，对溶胶-凝胶法 2 2 制备SnO2 薄膜的烧结温度和CuCl2 的掺杂量进行了探索。文中通过X 射线衍射仪、 差热热失重分析仪、场发射扫描电镜和气体响应测试，对 SnO2 纳米薄膜性能进行 表征，确定了薄膜的最佳烧结温度为 550℃，CuCl2 的最佳掺杂量为3mol% 。测试 结果表明，制得的SnO 薄膜在室温下具有很好的响应特性，对于68.5ppm 的H S，