自动阻抗匹配器硬件系统的研制及相关特性的研究.pdfVIP

第l章绪论 实现理想功率传输而在源和负载之间进行阻抗匹配。事实上，许多实际的匹配网 络除了减少功率损耗功能外还有其他功能，比如减小噪声干扰、提高功率容量和 提高频率响应的线性度等。通常认为，匹配网络的用途就是实现阻抗变换，就是 将给定的阻抗值变换成其它更适合的阻抗值。 自动阻抗匹配器能够及时跟踪等离子体负载复杂的阻抗变化，保证负载和源 之间阻抗匹配，从而保证从射频源输出的功能都能被等离子体负载全部吸收，进 而提高半导体加工的工艺水平。 1．2国内外研究概况 目前，国内只能生产手动调节的阻抗匹配器，其完全依靠使用者凭经验进行 调节，其匹配精度低，反应时间长，从而制约着低温等离子体应用研究水平的提 高。随着周围环境温度等因素的影响，负载特性会发生相当的变化[6】，手动调 节由于无法快速进行及时地阻抗匹配，等离子体的特性就会发生波动，当等离子 体应用于高精度半导体加工工艺中时，这种波动往往是非常致命的，最终导致加 工失败[7】。 关于自动匹配网络及自动匹配算法，国外很早就有人开始研究[8】。最早利 用反射系数的模和相位信息来控制自动匹配网络。后来有人提出只利用反射系数 的模来控制匹配网络的方法。两者的相似点都是利用的模的梯度信息，