1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 能源与动力工程

硅基氮化铝薄膜风致振动MEMS能量采集单元-光学精密工程.PDFVIP

  • 2
  • 0
  • 约3.9万字
  • 约 8页
  • 2018-02-16 发布于天津
  • 举报

硅基氮化铝薄膜风致振动MEMS能量采集单元-光学精密工程.PDF

    硅基氮化铝薄膜风致振动MEMS能量采集单元-光学精密工程

    第 卷 第 期 光学 精密工程 ２１ １２ 　 Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．１２ 　 　 　　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１３ １２ Ｄｅｃ．２０１３ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１３１２３０５８０８ 　

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >