[物理]扫描探针显微镜原理及其应用1.ppt

扫描探针显微镜原理及其应用 应用半导体研究 精密表面粗糙度评价 应用于记录材料形貌及磁畴研究 日本精工 成立于1881年，百年历史老牌公司 从著名的精工表起步，发展成多元化高科技公司 著名的EPSON集团也是精工集团子公司 集团年营业额数百亿美元，世界500强 Scanning Probe Microscope System SPI3800N Series SPA-400多功能扫描探针显微镜：大气及液体环境中工作。 SPA-300HV多功能可控环境扫描探针显微镜：不仅可以在大气及液体环境中工作，而且样品的周围环境可控制。高真空可达10-7Torr以上,并可进行不同环境气氛的控制，同时可对样品进行低至零下-120?C；高至+800?C的制冷和加热，在此温度范围内可进行高精度的温度控制。 SPA-500大尺寸样品扫描探针显微镜: 操作高度自动化，既使是对于大尺寸样品，同样可实现原子量级高分辨率测量 SPA-460/465半导体工业用检测型原子力显微镜：可对整个8英寸或12英寸Wafer全部表面进行检测，可准确检测出0.08?m量级的缺陷 Nanopics小型低价位紧凑式AFM功能桌面系统:可实现大范围扫，XY：500nm~800um SPA-400多功能扫描探针显微镜 SPA-400 Specification SPI General term of a type microscope, which performs surface form observation in minute domain by detecting the physics properties between probe and sample. STM (1981 invention 1987 utilization) AFM (1986 invention 1990 utilization) DFM（Dynamic Force Mode） FFM (Friction Force Microscope) MFM (Magnetic Force Microscope) VE-AFM (Viscoelasticity AFM) KFM (Surface potential) SNOM Probe Sample surface physical interaction 扫描探针显微镜的历史 10 mm 10μm 10 nm 10 nm 10μm 10 mm X,Y resolution/m Z resolution/m SEM Optical Microscope 10 pm SPM TEM 扫描探针显微镜与其他显微镜在分辨能力上的比较 Reference：NIKKEI MICRDEVICES 86.11 0.2nm 800μm 15μm High Resolution in 3D image Atomic Image　（HOPG） STM（～2nm□） Magnet-Optical Disk MFM（10μm□） Lung cancer cell among culture solution DFM（100μm□） AFM　Lithography　by oxidization with elec. field Vector Scan（1μｍ□ ） ~ In Air，High Vacuum，Liquid，Heat，Cool，Magnetic Field 扫描探针显微镜的优势 Observation?Analysis ?Processing Topography Physical property Measurement in various environment Before After 标准配置功能 ?Contact AFM（接触式原子力模式） ?DFM (动态力模式，包括非接触式和间歇接触式原子力模式) ?Phase Mode（相位模式） ?FFM (摩擦力模式) ?MFM (磁力模式) ?Vector Scan（矢量扫描，纳米刻蚀） ?Force vs Distance Curve (力曲线测量模式) 扫描探针显微镜原理 Contact AFM（Atomic Force Microscope） DFM（Dynamic Force Mode） PZT Before processing Direction of scanning Electrolytic oxidation Cantilever Surface Processing by SPM (Vector Scan) After processing 物理特性测量 ?VE-AFM/VE-DFM (微区粘弹性测量模式)