[工学]XPS分析手册-合肥微尺度.pdf

第四章 定性分析和谱图诠释 lXPS AES的表面灵敏特性，再加上非结 构破坏性测试能力和可获得化学态信息的 能力，使其成为表面分析的极有力工具。 l定性分析主要是鉴定物质的元素组成及其 化学状态。 lXPS还可以进行官能团分析和混合物分析。 lXPS定性分析的相对灵敏度约为0.1%。 一、电子能谱图的一般特性 l 在XPS谱图中可观察到几种类型的谱峰。 l 一部分是基本的并总可观察到 初级结构 l 另一些依赖于样品的物理和化学性质 次级结构 l 光电发射过程常被设想为三步（三步模型）： l 吸收和电离（初态效应）； l 原子响应和光电子产生（终态效应）； l 电子向表面输运并逸出（外禀损失）。 l 所有这些过程都对XPS谱的结构有贡献。 1、XPS谱图的初级结构 (1). 光电子谱线(photoelectron lines) l 由于X射线激发源的光子能量较高，可以同时激发出多个 原子轨道的光电子，因此在XPS谱图上会出 多组谱峰。 由于大部分元素都可以激发出多组光电子峰，因此可以利 用这些峰排除能量相近峰的干扰，非常有利于元素的定性 标定。 l 最强的光电子线是谱图中强度最大、峰宽最小、对称性最 好的谱峰，称为XPS的主线。每一种元素都有自己的具有 表征作用的光电子线。它是元素定性分析的主要依据。 l 此外，由于相近原子序数的元素激发出的光电子的结合能 有较大的差异，因此相邻元素间的干扰作用很小。 光电子谱线 峰位置(结合能)。与元素及其能级轨道和化学态有关。 强度。与元素在表面的浓度和原子灵敏度因子成正比。 对称性。金属中的峰不对称性是由金属E 附近小能量电 F 子-空穴激发引起，即价带电子向导带未占据态跃迁。 不对称度正比于费米能级附近的电子态密度。 峰宽(FWHM)光电子线的谱线宽度来自于样品元素本 质信号的自然宽度、X射线源的自然线宽、仪器以及样 品自身状况的宽化因素等四个方面的贡献。 (2). 非弹性本底 l XPS谱显 出一特征的阶梯状本底，光电发射峰的高 结合能端本底总是比低结合能端的高。这是由于体相 深处发生的非弹性散射过程（外禀损失）造成的。 平均来说，只有靠近表面的 电子才能无能量损失地逸 出，分布在表面中较深处的 电子将损失能量并以减小的 动能或增大的结合能的面貌 出现，在表面下非常深的电 子将损失所有能量而不能逸 出。 (3). 俄歇电子谱线(Auger lines) l 由弛豫过程中(芯能级存 在空穴后)原子的剩余能 量产生。它总是伴随着 XPS，具有比光电发射 峰更宽 更为复杂的结 构，其动能与入射光子 的能量hn无关。 l 在XPS中，可以观察到 KLL, LMM, MNN NOO四个系列的俄歇线。 l 俄歇电子峰多以谱线群 的形式出现。 (4). 自旋-轨道分裂(SOS) l 自旋-轨道分裂是一初态效应。对 于具有轨道角动量的轨道电子， 将会发生自旋(s)磁场与轨道角动 量(l) 的耦合。总角动量j = ‰l–s ‰。 对每个j 自旋-轨道分裂能级的简 并度= 2j + 1 。 l s 轨道无自旋-轨道分裂 XPS 中单 峰 l p , d,f … 轨道是自旋-轨道分裂的 XPS 中双峰 l 双峰中低j 的结合能E 较高(E B B 2p 1/2 EB 2p 3/2)