ZnSe晶体加工工艺研究.PDFVIP

第 26 卷第 4 期 长春理工大学学报 Vol 26 No 4 2 0 0 3 年 1 2月 Journal of Changchun University of Science and Technology Dec. 2 0 0 3 文章编号 : 1004 - 485X (2003) 04 - 0067 - 03 ZnSe 晶体加工工艺研究 张　亮　李建立　魏　东　刘景和 (长春理工大学 　材料与化工学院 , 长春 　130022) 摘　要 : 制备了 ZnSe 晶体 , 对其生长和加工工艺进行了研究 , 提出了一些合理的解决办法。测 试结果表明 , 所得 ZnSe 晶体适合用于红外窗口材料。 关键词 : ZnSe 晶体; 加工工艺 ; 红外窗口材料 中图分类号: O786 　　文献标识码 : A 　　ZnSe 属直接带隙 II - IV 族半导体 , 面心立方 表 1 　ZnSe 主要性能参数 结构 , 具有优异的理化性质 , 可用于制造蓝光半导 密度 5 . 27g/ cm3 硬度 105kg/ mm2 体激光器件、光探测器件、非线性光学器件、波导 挠曲强度 7 500psi - 10 500psi 调制器等同时作为优秀的红外材料 , 是红外透镜、 杨氏模量 102mpsi - 8 9mpsi 泊松比 028 激光窗口、红外热像仪的首选材料 , 对该晶体的生 热膨胀系数 7 57 ×10 - 6k - 1 长和加工工艺进行研究是十分重要的。目前国内在 比热 0 339j/ gk 导热系数 16w/ mk - 8w/ mk 光学晶体加工方面虽然已有三四十年的历史 , 也取 吸收系数 mintransmittancd % 得了不少进展 , 但比起光学玻璃的加工在技术上还 2 1 　晶体缺陷的检测 显得不够成熟 , 主要表现在生产成本高 , 生产效率 为了提高晶体加工的成品率 , 降低成本 , 对晶 低 , 好的加工技术还未能推广使用 , 很多加工技术 体缺陷的检验是十分必要的。同时 , 晶体中的缺陷 还处于摸索阶段 , 远远不能满足对 ZnSe 晶体应用 对光学材料的均匀性 , 光损耗等均有影响 , 所以必 的需要。本文在总结现有技术基础上 , 对 ZnSe 晶 须在加工之前对晶体的完整性进行检测。而且由于 体的加工进行了一些研究。 晶体内部的不完整 , 会给加工带来了许多问题 , 主 1 　ZnSe 的基本性能 要有以下几种 :