[工程科技]电容式传感器.ppt

5.2 灵敏度及非线性 5．3 电容式传感器的等效电路 并联损耗电阻Rp ，串联损耗Rs ，电感L由电容器本身的电感和外部引线电感组成。 它有一个谐振频率，工作频率应该选择低于谐振频率，否则电容传感器不能正常工作。 5.4 测量电路 5.4.1 调频测量电路 把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。 当输入量导致电容量发生变化时, 振荡器的振荡频率就发生变化。 e为正半周时, 二极管VD1导通、VD2截止, 电容C1充电; 在负半周出现时, 电容C1上的电荷通过电阻R1, 负载电阻RL放电, 流过RL的电流为I1 。 e为负半周内, VD2导通、VD1截止, 则电容C2充电; 在随后出现正半周时, C2通过电阻R2, 负载电阻RL放电, 流过RL的电流为I2 。 I1 =I2, 方向相反, 在一个周期内流过RL的平均电流为零。 5．4．4 环形二极管充放电法 高频方波信号源，通过一环形二极管电桥，对被测电容进行充放电。 输入方波加在电桥的A点和地之间，Cx为被测电容，Cd为调零电容，C为滤波电容，A为直流电流表。 电桥变化过程如下： 当输入的方波由E1跃变到E2时，电容Cx和Cd两端的电压由E1充电到E2。 在充电过程中，VD2、VD4处于截止状态。在这段时间内由A点向C点流动的电荷量为 q1＝Cd(E2一E1). 当输入的方波由E2返回到E1时，Cx、Cd放电，两端的电压由E2下降到E1. 在放电过程中，VD1、VD3截止。在这段时间内由C点向A点流过的电荷量为q2＝Cx(E2-E1)。 由C点流向A点的平均电流为I2＝Cxf(E2-E1)，A点流向C点的平均电流为I3＝Cdf(E2-E1)，流过此支路的瞬时电流的平均值为 I＝Cxf(E2-E1)-Cdf(E2-E1)=f?E(Cx-Cd) ?E＝ E2一E1 。 令Cx的初始值为C。，?Cx为Cx的增量， 则 Cx=C。+?C。，调节Cd=C。 则 I= f ?E (Cx一Cd)= f?ECx。 I 正比于?Cx。 5.5 应用 5．5．3 差动式电容测厚传感器 用来对金属带材在轧制过程中厚度的检测，在被测带材的上下两侧各置放一块面积相等，与带材距离相等的极板，极板与带材就构成了两个电容器C1、C2。 带材的厚度发生变化，将引起电容量的变化，用交流电桥将电容的变化测出来，经过放大即可由电表指示测量结果。 电桥的输出电压经放大器放大后整流为直流，再经差动放大，即可用指示电表指示出带材厚度的变化。 5.5.8 电容式料位传感器 测定电极安装在罐的顶部,在罐壁和测定电极之间就形成了一个电容器。 小结 传感器的工作原理和结构 差动脉宽调制电路适用于变极板距离、变面积式差动式电容传感器。 5.5.1 压力传感器 当被测压力、压力差作用于膜片产生位移, 形成两个电容器的电容量, 一个增大, 一个减小。 电容值的变化经测量电路转换成与压力或压力差相对应的电流或电压的变化。   5.5.2 加速度传感器 当传感器壳体随被测对象在垂直方向上作直线加速运动时, 两个固定电极产生大小正比于被测加速度的位移。 位移使两电容的间隙发生变化, 一个增加, 一个减小, 从而使C1、 C2产生大小相等, 符号相反的增量, 正比于被测加速度。  电容测厚仪用于测量金属带材在轧制过程中的厚度变化。 带材是电容的动极板，总电容C1+C2作为桥臂。 带材只是上下波动时Cx=C1+C2总的电容量不变；带材的厚度变化使电容Cx变化。 5.5 电容式传感器的应用举例 4.电容测位移 5.5 电容式传感器的应用举例 5.力平衡式加速度传感器 力平衡式传感器是先将被测量转换成力或力矩然后用反馈力与它平衡的闭环传感器，可测加速度、角速度、压力变量、电功率等等。 5.5 电容式传感器的应用举例 6.智能型电容传感器 智能型电容传感器电路结构 兼容协议 5.5 电容式传感器的应用举例 6.智能型电容传感器 硅微型电容传感器结构 5.5.7 频率型差动式电容测厚传感器 将被测电容C1、C2作为各变换振荡器的回路电容, 振荡频率f为 εr —— 极板间介质的相对介电常数;  A —— 极板面积;  dx—— 极板间距离;  Cx—— 待测电容器的电容量。 所以 振荡频率包含了电容传感器的间