纯化器操作资料.pptVIP

* 纯化(PURIFYING) 是什么 ?? 气体的纯度是5N(99.999%) 99.999%=杂质浓度是 百万之十 (10ppm) 气体的纯度是8N以上(≥99.999999%) 99.999999%=杂质浓度是 十乙之十 (10ppb) 纯化器 H2O O2 N2 CH4 CO2 CO H2O O2 N2 CH4 CO2 CO H2O O2 CH4 CO N2 CO2 H2O O2 CH4 CO CO2 纯化以前 纯化以后 纯化办法 吸附物 (Absorber) 催化剂 (Catalyst) Getter 纯化办法 MS (Molecular Sieve) = Absorber[吸附物 ] MS能去掉 CO2,H2O (不必加热) MS+H2O,CO2 → MS-H2O,MS-CO2 MS要再生课程 (在加热),所以不必更换 MS-H2O,MS-CO2 → MS,H2O,CO2 Ni,Pd = Catalyst Ni能去掉CO,O2 (不必加热) / Pd能去掉CH4 (在加热) Ni+CO,O2 → Ni-CO,Ni-O2 / Pd+CH4 → Pd+CO2,H2O Ni要再生课程 (在加热,H2) , Pd没有再生 Ni-CO,Ni-O2 → Ni,CO2,H2O Getter = Zr Alloy (Zr 合金) Zr能去掉所有杂质 : Zr+CO,O2,H2O,CO2,H2,N2… Zr没有再生课程 * 平常 兼用两个办法 吸附物 + 催化剂, 吸附物 + Getter H2O M/S : Molecular Sieve 吸附物质 加热 ※ 加热效果 供给能量 为扩大PORE GATE 和 活化分子运动 吸附物 纯化 和 再生原理 纯化 再生 H2O 200 – 300 ℃ CO2 CO2 Getter(Zr) 纯化图式 Zr Zr Zr Zr Zr H2O Zr Zr Zr Zr Zr H2 O Zr Zr Zr Zr Zr ※加热效果 便于 Zr 的化学吸附 便于杂质 向Zr 内扩散 (不可逆反应) 化学吸附 物理吸附 内部 扩散 300 – 400 ℃ Heater Operation Method [加热办法模式] PLC MCCB MC ELB CP SSR Heater Relay Temp Controller MCCB : Molded Case Circuit Breaker ELB : Electric Leakage Breaker MC : Magnetic Contact CP : Circuit Protector SSR : Solid State Relay PLC : Programmable Logic Controller Always On 常开 Always On 常开 Always On 常开 Normally Off Received Signal 常闭 收到信号 开 Normally Off Received Signal 常闭 收到信号 开 PLC Signal 从PLC 信号 Temp. Controller Signal 从T/C 信号 Power Supply Line 电共给 Always Signal On 常开信号 PLC Signal→On 有信号 开 Alarm List Description High Temperature Alarm [最高温度警告] High Pressure Alarm [最高压力警告] EMO [Emergency Button] SSR Fail Alarm [继电器故障警告] MC Fail Alarm [继电器故障警告] CP Fail Alarm [短路器故障警告] ELB Fail Alarm Air Fail Alarm [CDA 共给压力不够警告] Shut Down Alarm Warning Alarm All Valve Close [开的气动发 闭] All Heater Off [加热的电炉 闭 Gas Supply Stop [气体是停] Gas Supply Continue [不影响 气体共給] Leak Detector 2ND Alarm Electric Part Match with Heater N2 Purifier MCCB ELB 1 ELB 2 ELB 3 MC 1 MC 2 MC 3 MC 4 MC 5 CP 1 CP 2 CP 3 CP 4 CP 5 CP 6 CP 7 SSR 1 SSR 2 SSR 3 SSR 4 SSR 5 SSR 6 SSR 7 Heater 1 Heater 2 He