CuAg殻核奈米粒子耐热性探讨-YOKE.PDF

Cu@Ag 殻核奈米粒子耐熱性探討 Thermal Stability of Cu@Ag Core-shell Nanoparticles 1 2 3 蔡齊航 宋振銘 * 陳詩芸 1 2 3 Chi-Hang Tsai , Jenn-Ming Song , Shih-Yun Chen 1 國立台灣科技大學應用科技研究所 2 國立中興大學材料科學與工程學系 3 國立台灣科技大學材料科學與工程系 *samsong@nchu.edu.tw 國科會計畫編號：NSC99-2221-E-005-119-MY2 摘要 近年來以Cu 奈米粒子製備微電子導線引起相當大的關注，慮及後續的高溫製程，如 何降低氧化速率與氧化產生量來提高品質對該奈米材料的應用相當重要。本研究以聚乙 烯吡咯烷酮(PVP)作為保護劑並配合還原置換法製備出 Cu@Ag 核殼奈米顆粒(粒徑大小 約25 nm ，原子百分比為Ag/Cu=1:8) ，利用臨場同步輻射XRD 即時觀測於升溫過程之 相變化。藉由表面電漿共振吸收峰、EDS 線分析及Cu 、Ag 兩晶格面重疊所產生之莫瑞 條紋確認本研究合成粒子之核殼特徵。臨場同步輻射 XRD 觀察，在低溫時僅只有一寬 o 且弱的Ag (111)繞射峰產生，隨著溫度上升，該Ag 繞射峰由寬轉為尖銳，同時在400 C 時出現Cu (111)繞射峰，然而Cu 隨即氧化成Cu O 及CuO ，且此二氧化物之形成溫度都 2 較純Cu 奈米顆粒至少高出200 oC 以上，由此可知以Ag 包覆Cu 奈米粒子確實能有效 改善其氧化性質。 關鍵字：Cu@Ag 核殼奈米粒子、臨場同步輻射XRD 、相變化 Abstract Cu@Ag core-shell nanoparticles have been regarded as a potential solution for the next generation interconnect materials. Considering sintering at high temperatures, it is important to avoid the oxidation and thus negative influence on electrical properties. In this study, PVP-protected Cu@Ag core-shell nanoparticle deposits (with average particle diameter of about 25 nm and Ag/Cu ratio in atomic percentage of 1/8) were synthesized and their phase transformation upon heating in air was investigated via in situ synchrotron radiation X-ray diffraction. The core-shell structural feature can be verified by the surface plasma resonance peaks and EDS line sc