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工研院量測中心醫療器材驗證室 2010/11/19
一、 奈米材料檢測方式
1.尺寸量測學 (dimensional metrology)
目前此 方面具備最完整之方法學 ,針對奈米尺寸之量測,國際間也具極佳之共識,量測的範圍包含奈米粒子尺寸之量測、
3D
空間內 約 等級 奈米材料 約 等級之精確度 、及 物質內 約 等級 奈米材粒之精確度等。但表面結構量測之標準目
( mm ) ( nm ) 2D ( 100mm )
前尚未非常完備 。
2. 奈米機械量測學 (nanomechanical metrology)
此量測項目中 ,原子力顯微鏡 為最主要的檢測工具 ,相關的指引及標準亦在制訂當中。其量測
(Atomic Force Microscopy, AFM)
的範圍包含力學的量測 、分辨複雜物質如奈米層 、奈米域、奈米粒等組成 、及奈米等級下的功能等。
( )
3. 奈米結構之材料量測學(nanostructured materials metrology)
1
目前對於奈米結構之材料量測 ,已建立許多量測技術及相關標準及文件,使用的技術也較廣泛,包括穿透式電子顯微鏡
、掃瞄式探針顯微鏡 、 光吸收近邊緣結構
(Transmission Electron Microscopy, TEM ) (Scanning Probe Microscopy, SPM) X (Near-Edge
、 光反射率 、 光繞射 、中子反射儀
X-ray Absorption Fine Structure, NEXAFS) X (X-Ray Reflectivity, XRR) X (X-ray Diffraction, XRD)
、小角度中子散射 、拉塞福背向散射分析
(Neutron Reflectometer, NR) (small angle neutron scattering, SANS) (Rutherford backscattering
、原子探針技術 、 離子微探針分析法等 。研究的領域包含奈米粒子及奈米材料參考物質之建立、
spectrometry, RBS) (Atom Probe) He+
奈米粒子在液態 、複合物、乾燥形式等之不同特性等,需評估其凝聚狀況以了解真正之結構為何 。
4. 奈米化學量測學(nanochemical metrology)
在奈米化學的部分 ,已有廣大量測基礎,目前已有超過 50個相
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