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弗劳恩霍夫协会 电子纳米系统研究所 Fraunhofer ENAS Fraunhofer ENAS – 简介 随着创新产品的不断复杂化和微型化，系统集成 Fraunhofer ENAS的主要研究工作可以分为下列 对于科技的发展变得越来越重要。因此，由不同 专题： 材料（多材料）组成的不同器件（多器件）的多 功能性及其实现共同起着重要作用。纳米材料集 多器件集成： 成和多功能印刷电路也对可靠性、可测性、设计 微/纳机电系统研发，传感器和执行器的样品制 和安全性构成了新的挑战，提出了新的要求。 作，将这些器件和微纳电子元件集成为系统，元 位于开姆尼茨的弗劳恩霍夫协会电子纳米系统研 件和系统的设计，微/纳机电系统测试和表征的 究所（Fraunhofer ENAS）专注于智能系统集成 研究和实施。研究成果有微型光谱仪、倾角传感 的研究与开发。其合作伙伴遍及德国、欧洲和全 器、高精度加速度传感器与陀螺仪、法布里-珀罗 世界。 干涉仪。 微纳米系统技术和电子技术在今日的产品开发 和工业进步中起着关键作用。它们能将机械、 先进工艺开发： 电子、光学、化学、生物及其它功能件集成到 核心竞争力在于微/纳机电系统封装（芯片和晶 一个非常小的空间，其尺寸范围从亚微米到几 圆键合，包括新材料组合和低温键合）的晶圆键 毫米。这些将人工智能、能源供应和通讯能力集 合工艺的开发应用。硅和非硅材料的三维模型工 于一身的多器件集成系统能提供一站式全面服 艺，化学机械抛光。