大功率全固化固体激光器的研制.PDFVIP

大功率全固化固体激光器的研究 陈义红 赵兵 赵德政 （湖北光通光电系统股份有限公司 武汉 430074) 摘要：大功率全固化固体激光器正逐步取代传统的灯泵浦固体激光器，已广泛应用于工 业领域。本文报道了侧面泵浦输出功率高达 60W的Nd:YAG激光器，并对激光器结构和 输出特性进行了详细的研究。用户使用表明，该激光器转换效率高、使用寿命长、结构 紧凑、整机性能可靠。 关键词：激光二极管，侧面泵浦，Nd:YAG激光器 Study of High-power Diode-Pumped Solid-state Lasers Yihong Chen Bing Zhao Dezhen Zhao (Hubei Guangtong Photoelectronic System Co Ltd, 430074) Abstract: Diode-pumped solid-state lasers are replacing flashlamp-pumped solid-state lasers and are widely used in industries. A side-pumped 60W Nd:YAG laser is reported in this paper and the structure and output characteristics of the laser are studied in detail. It is shown that the laser is compact, long-time and reliable. Keywords: laser diode, side pump, Nd:YAG laser 一、引言 第一台连续YAG激光器于1964年实现运转，近40年来YAG激光器一直与CO激光 2 器同受重视，是第二类最重要的工业激光器，目前世界范围内销售的商品YAG激光器已 有500种，但从1998年开始，Nd:YAG激光器的市场占有率和销售额已升为第一位。 传统的固体 YAG激光器，通常由掺钕钇铝石榴石晶体棒，泵浦灯、聚光腔、光学 谐振腔、电源及制冷系统组成，其转换效率为 2%到 3%。由于泵浦灯发射的光谱只有极 小部分被晶体棒所吸收并转换成激光能量，大部分注入电功率转换成热能，其直接害处 一方面表现为大量的热能造成激光晶体不可消除的热透镜效应，使激光光束质量变差； 另一方面整个激光器需要庞大的制冷系统，体积很大。泵浦灯的寿命约为 300到 1000 小时，操作人员需花很多时间频繁的换灯，中断系统工作，使自动化生产线的效率大大 降低。有关专家认为，灯泵浦固体激光器的发展已到尽头，技术上没有大的发展空间， 二极管泵浦固体激光器 （全固化固体激光器）将取代灯泵浦固体激光器。 二极管泵浦固体激光器的技术核心包括光束耦合、光束质量、电源技术、控制系 统及系统集成。二极管泵浦技术的出现，为固体激光器注入了新的生机和活力，使固体 激光器的一场革命，这是固体激光器的发展方向。近年来由于大功率激光二极管制造工 艺的成熟和生产成本的降低，使二极管泵浦固体激光器的研究得到了飞快的发展，且已 正式进入商品化。世界著名的激光公司Rofin-Sinar所销售的激光工业加工设备中60 ％已是二极管泵浦的固体激光器。 与传统灯泵浦固体激光器比较，二极管泵浦固体激光器具有以下优点： (1)转换效率高：正如图1所示，由于半导体激光的发射波长与固体激光工作物质的吸 收峰相吻合，加之泵浦光模式可以很好地与激光振荡模式相匹配，从而光光转换效 [1] 率很高，已达50％以上 ，整机效率也可以与二氧化碳激光器相当，比灯泵固体激 光器高出一个量级，因而二极管泵浦激光器可省去笨重的水冷系统，体积小、重量 轻，结构紧凑。 1