影像式光电子显微术於磁性薄膜及微结构研究的介绍.PDF

影像式光電子顯微術於磁性薄膜 及微結構研究的介紹 文/魏德新、許瑤真 摘要 探討多層薄膜結構和微區結構的磁特性是近年來很受重視的研 究課題。實驗上，藉由調變膜層的厚度或微 結構的形狀與大小，一個系統的磁特性可隨之呈現不同的反應 。這樣的特徵在實際的應用層面上已具發展潛力。 但在探索其物理源由的努力上，則需要有能夠偵測單一元素自旋結構以分辨各個組成成分間不同的反應與耦 合。應用已發展成熟的 X 光吸收能譜技術為基礎，本文簡述近期影像式光電子顯微術在磁性薄膜系統上的研究。 一、前言 (exchange bias)等效應為許多研究的焦點[1,2] 。相對於 應用方面的蓬勃發展，在瞭解磁性膜層間直接/間接作 在凝態物理中對作用力的描述經常是電子或原 用力機制的努力則受限於相關實驗技術必須能分辨 子集體行為的結果。所以，縱使作用力的起源是來自 單一層別或材料的磁訊號而進展較為緩慢。至於在有 更小尺度的量子現像，其有效作用力的距離卻可以比 關磁區(magnetic domain)在多層膜系統中所可能扮演 之大很多。近來，隨著奈米科技的發展，探討系統在 的角色則是要到近幾年相關實驗技術逐漸成熟後才 微小化或式樣化(patterning)後所出現的特性已成為許 有較多的實驗報告[3-5] 。 多研究的焦點。尤其是當系統的大小與相關作用力的 尺度相當時，吾人即可以藉由調整相對巨觀的尺寸和 軟 X 光吸收能譜術為一已知具有元素艦別力的 幾何形狀來改變系統的特徵表現。近來以巨磁阻 有效工具。當使用的光源具有左/右旋偏振性時，就可 (giant magnetoresistence, GMR) 現像為基礎而得以快 以利用磁性物質對偏振光源的吸收截面效率為其磁 速發展的高密度磁儲存工業就是一個成功例子。 化向量（M ）和光偏振向量（σ ）的函數來進一步獲 取物質的磁性質，如軌道磁矩等。這就是所謂 X 光磁 基本上，磁性的現象是源自於電子與電子間的交 圓 偏 振 二 向 性 (X-ray magnetic circular dichroism, 換作用(exchange interaction) ；由於交換力的存在導致 XMCD)[6,7] 。再進一步，若是將物質吸收光子後發射 了磁矩呈現有序的排列。所以，在研究磁性材料時， 出來的二次電子訊號強度依發射位置記錄下來，那麼 磁結構與電子結構常需一併討論。不過，也正因為電 就能以磁 圓偏振二向性為對比的機制而分辨不同元 子間的作用力並不侷限於相鄰的兩個原子，所以將不 素的磁區分佈 。利用X 光的穿透性，並考慮因吸收而 同磁結構的薄膜以層狀結構堆疊時就會因膜層間的 造成的電子發射時電子的逃脫深度(escaping depth) ， 交互作用力而使系統出現多樣化的性質。在應用科學 軟 X 光吸收能譜術有 5 1