真空镀膜设备的维修 - 副本.pptVIP

真空镀膜设备的维修 所谓维修保养是？ 设备装置维修 故障发生以后，维修保养也算是一种处理手段。 但是，那种情况下，因为必须让厂家的技术人员来进行修理，所以会产生费用及修理时间，并且对生产计划也有造成影响。 对于设备的使用者来说，做好充分预防维修保养是必要的。 在使用说明书『保守』 一项中，详细记载了预防维修保养的保养、点检要领、异常处理方法及注意事项。 另外，定期点检项目和维修保养周期，记载在表格里。认真阅读之后，一定根据要领记载实施。 ＜注意！！＞ 该维修保养周期，是参阅标准使用条件而作成的， 如果是日夜稼动等使用条件下，则有必要考虑增加次数（保养频度）。 ~主要点检部分如下~ ① 开机时的点检???电力、冷却水?压缩空气等基本动力供给以及机械回 转泵油量的点检。 ② 真空室的清扫???脏污是排气时间延长导致生产量低下、膜质低下的原 因。 ③ 连接部位的点检???确认固定是否合适。 　 ★ 各电极端子部??电阻的增大是发热的原因。 　　 ★ 垫圈部　 ??真空漏气的原因。 　 　★ 压缩空气部分 ??各气动阀门的气压工作不良，是造成大故障的重要原因。 ④ 各结构部位的点检???是否能够平滑的动作。 ⑤ 各计量器及电源机器的点检???确认表示值是否正常、有无异常表示。 ⑥ 其他???箱体及电源箱内部等有无废物、灰尘。 ※ 对于维修保养，根据使用说明书，把日常点检项目作成表格进行检查，就不会有遗漏了。　 维修保养的要点 ~ 对于预防维修保养，请注意以下几点。 ~ 　① 正确把握正常状态（动作状态、各设定值、计量器的显示等）。 　② 对于有使用寿命的零件，记录交换时期。 　③ 正确知道各零件及机能的名称。 　④ 理解设备、零件的机能。 　⑤ 理解输入输出信号及其用途。 　⑥ 阅读全部使用说明书全文。 故障发生时的确认事项 即使充分执行了预防维护，还发生了故障的情况下，请在确认以下事项后和我门联络，可能会在短时间内得到处理。 ① 发生时间 ② 症状 　　　◆ 进行怎样的工作时发生的？ 　　　◆ 在那个部位发生了怎样的症状？ 　　　◆ 是否出现异常信息？　　etc… ③ 症状发生前有没有变更过什么地方？ ④ 故障是？ 　　　◆ 慢性的还是经常发生的？ 　　　◆ 设备有没有损坏的地方？ 　　　◆ 进行同样的操作时是否再出异常？ etc… ⑤ 其他与该故障看起来没有直接关系的故障有没有发生？ ⑥ 用于本设备的工厂设备等，有没有更改？ Service Dept. Sｅｒｖｉｃｅ Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ． サービス事業部 维修保养是指「为了保持设备的信赖性」而进行的工作。 总之，它的目的是为了长时间保持设备的应有生产性与稼动率。 维修保养可以如下分类。 ①预防维修 ： 为防患于未然，有计划的进行。 ②事后维修 ： 故障发生以后进行维修。 ③改良维修 ： 以提高稼动率等性能提高为目的的维护。 Service Dept.