试验一真空镀膜系统之认识.PDFVIP

實驗一 真空鍍膜系統之認識 一、實驗目的 認識真空系統的基本結構，了解其工作原理，並熟悉其基本操作。 二、實驗儀器 機械幫浦、擴散幫浦 三、實驗原理 （A ）一個空間中完全沒有任何物質和氣體的存在，稱為絕對真空。目前人 類至今尚未找到絕對真空的地方，再實驗室中目前也還沒又造出一個壓力 等於零的空間。所以一般真空的定義為一個容器內空間中的壓力小於一大 19 氣壓就是真空。也可以定義為容器中的氣體分子密度小於 2.5×10 molecules/cm3 （一大氣壓的分子密度），則該容器為真空。簡單的表示為壓 力大氣壓力，壓力由熱電偶真空計測得。 （B）真空系統之基本結構 本實驗室之儀器為熱電阻真空鍍膜系統及高週波濺鍍系統，其基本結構主 要包括以下幾大部分： 機械幫浦、擴散幫浦、閥門與管路系統、真空腔（直徑四十二公分、高五 十公分）、電阻式之蒸鍍系統、真空計、真空冷卻水系統與其他週邊相關 配備，如：殘留氣體分析儀、質流控制器（MFC-Mass Flow Controller）。 （C ）抽氣原理 本實驗室之真空系統之幫浦主要有機械幫浦與擴散幫浦兩種： 1.機械幫浦（mechanical pump ）工作原理 此種 pump 之簡單構造如圖 1-1 。幫浦內部有一旋轉的偏心轉子，轉子 上有一對受彈簧力的翼，當轉子旋轉時此對翼因彈簧的壓力會持續接觸 在幫浦的靜子壁上。靜子外界儲滿幫浦油，此種油經由靜子上的小油 路，滲入靜子內壁。當轉子轉動，轉子以及轉子上的翼與靜子的內壁接 觸變形成一層油膜以維持氣密。因為轉子的軸為偏心，故幫浦內的氣體 當轉子轉動時被壓縮，而轉子到幫浦的進氣口處形成局部真空。真空系 統內的氣壓因為大於幫浦進口處的氣壓受壓縮到超過大氣壓力時，就推 開靜子上的單向活門經過油槽進入大氣中。 2.擴散幫浦（diffusion pump ） 擴散油在低壓下加熱沸騰，其蒸氣呈 分子流狀態以高速衝過噴嘴 （nozzle ），如圖 1-2 （1）所示，氣體分子從真空系統內擴散到擴散幫 浦噴流的附近，首先碰撞散射的低密度之蒸氣分子而被迫入高密度蒸氣 分子流中。此分子流向下自由膨脹，遇到通有冷卻水的幫浦氣壁而冷卻 1 成液體，被帶來的氣體分子，則於此處被前對幫浦抽走。可見蒸氣噴出 向下流動的速度越快，效果越好。圖 1-2 （1）僅為簡單擴散幫浦原理， 1-2 （2 ）為詳細構造。此為三級擴散幫浦，亦即三個噴嘴相串聯。當幫 浦亦在底部加熱槽內受加熱蒸發，蒸氣從第一噴嘴噴出被抽的氣體壓縮 帶到第二噴嘴處，再經過壓縮帶到第三噴嘴處，在壓縮後被前段機械幫 浦抽去。 四、實驗步驟 1.如圖 1-3 整個真空系統仍由一個機械幫浦工作，但在最初抽氣時，機械幫 浦直接經由粗略真空管路將真空室及管路抽到中度真空，蒸氣幫浦內部 通常因為活門 2 及活門 3 關閉故保持在高真空，但若因任何原因而失真 空，可將活門 2 打開由機械幫浦同時先抽到可啟動的真空度。當此狀態 達到後就啟動蒸氣幫浦（活門 2 必須先打開以便讓機械幫浦做前段抽真 空）；然後關活門2 開活門 1 ，由機械幫浦將真空室抽至粗略真空，然後 關活門 1 開活門 2 、再開活門3 ，此時整個系統就由蒸氣幫浦抽到高真空。 2.拆裝擴散幫浦、換油、並更換 O 形環，如圖 1-4 。 五、問題與討論 1.為什麼鍍膜需抽真空？ 2.本系統有兩處放氣活門，其放氣時機為何？目的何在？ 3.本實驗所採用的高真空計為何種？工作原理為何