离子束加工机-OPTEG.PDFVIP

离子束加工机 离子束加工，也被称为离子束蚀刻技术，被越来越多地运用在尖端光学，电子 和机械产品的高精度表面加工领域里。在光学零件加工中，离子束抛光技术 （IBF）能够克服现有的常规全圈和小刀具研磨抛光工艺的物理约束。由于柔和的 梁表面的相互作用和对去除率的精确控制， IBF在有效地校正长空间波长误差时， 对表面或亚表面的损伤几乎是没有或者是最轻微的。如今，非常精细加工过的平 面、球面的和非球面表面超越整个空间波长范围，深入到亚纳米级精度，对高级紫 外线、极端紫外线和X射线光学器材来说是相当重要的。IBF成为制造高精度光学仪 器最有力的工具。 产品特征：  可实现λ/ 200或更好的表面质量1  λ@633纳米的开始精度是符合标准的  每台机器都配置有一个六轴直接驱动系统，因此能够使离子源与工件表面始终 处于正交位置  可被加工的工件外形有：扁平的、球型的、非球面的、自由曲面的、偏轴非球 面、圆柱体、类棱镜形状或锥透镜，或可按需定制  通过模拟和边缘处理来增加样本孔径  所有加工所需要的动作（如：波形、螺旋形、自由形式等等）都可在不更改机 器配置的情况下进行  原则上可加工所有单晶，非晶和金属材料。例如：各种光学玻璃、石英玻璃、 微晶玻璃、超低膨胀玻璃（ULE）、KDP晶体、蓝宝石、硅、碳化硅、锗等  具有极端可再现性的绝对稳定的工程  全自动化流程  为实现几个不同工件的全自动工作流，工程可通过机器人和储料器进行扩展2  每台机器由一个主室和一个负载锁室，以减少工件更换用时  针对不同离子束直径的自动原位换膜器2  原位实时刻蚀速率测量系统2  在进程中控制离子源功率的脉宽调制  低购置成本  低维修成本 1根据测量系统 2作为选装配置提供 机械类型: 工件 OMF 450 OMF 600 OMF 800 OMF 1200 直接驱动轴 6 6 6 7 最大扁平样品直径 450 mm 600 mm 800 mm 1200 mm 非扁平样品直径 取决于曲率半径；一个附加的第七轴可扩大样品直径2 最大厚度 200 mm 200 mm 200 mm 200 mm 最大重量 35 kg 100 kg 100 kg 100 kg 3 选项 : 真空系统 商品 商品编号 说明 升级选项1： 86 90 90 001 前置真空系统由一台带型号为COBRA DP250A，抽速为 前置真空系统 220m³/h的增压泵的普旭（BUSCH）干泵系统组成。 升级选项2： 86 90 90 002 前置真空系统由两台带型号为COBRA DP250A，抽速为 前置真空系统 220m³/h的增压泵的普旭（BUSCH）干式泵组成，分别用于 负载锁和处理室。 附加第二台涡轮分子泵 86 90 90 003 增加第二台泵功率为1900 l/s的普发（Pfeiffer）真空涡 轮分子泵，为了获得两倍更好的真空。 迈斯纳（Meissner） 86 90 90 004 增加一个表面0.5m²的迈斯纳冷阱，以便为高端制样在主 冷阱和低温致冷器