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多晶硅生产 内 部 资 料 II 2008 年 2 月 6 日 目录 8 尾气回收利用 …………………………………… 1 8.1 尾气回收的方法 ……………………………… 1 8.1.1 冷冻法 ……………………………………… 2-112 第八章 尾气回收利用 前言 20 世纪 50 年代，联邦德国西门子公司研究开发出大规模生产多晶硅的技术， 即通常所说的西门子工艺。这种方法主要考虑如何获得高纯度的多晶硅，而对于 在这个生产过程中所产生的尾气则没有加以考虑。后来随着生产规模的不断扩 大，多晶硅生产技术的发展，多晶硅生产厂商认识到如果不对尾气进行回收和利 用，多晶硅的成本将不可能降