温度对氮离子等离子体源离子注入N-PSIITi6Al4V表面改性影响.PDF

CNIC-01617 SWIP-0139 温度对氮离子等离子体源离子注入 （（N-PSII ））Ti6Al4V 表面改性影响 （（ ）） INFLUENCE OF TEMPERATURE ON PROPERTIES OF NITROGEN PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION (N-PSII) OF TI6Al4V ALLOY (In Chinese) 中国核情报 中心 China Nuclear Information Centre CNIC-01617 SWIP-0139 温度对氮离子等离子体源离子注入 （N-PSII ）Ti6Al4V 表面改性影响 耿漫 赵青 童洪辉 （核工业西南物理研究院，成都，610041 ） 摘 要 对Ti6Al4V 合金进行温度范围从100 ℃到600 ℃，离子注入剂 量为：4 ×1017 cm-2 氮离子等离子体源离子注入（N-PSII ）。用俄歇 电子能谱仪（AES ）对注入样品进行元素深度分布剖面分析。用显 微硬度及针盘磨损试验机测试表面改性的效果。利用 X 射线衍射 （XRD ）分析表面改性层晶相的变化，X 射线为 Cu 激励 K α射 线。利用扫描电子显微镜（SEM ）观察表面形貌及磨痕宽度。分析 发现，当温度从 100 ℃升到 600 ℃时，注入层厚度明显增加。其 中，高温注入时获得较高的表面硬度和较好抗磨损性。利用扫描电 子显微镜观察注入后表面形貌发生明显变化。XRD 分析发现，随 温度升高注入层表面形成TiN 和Ti2N 析出相。 关键词：升温离子注入， N-PSII ，磨损，Ti6Al4V 合金 1 Influence of Temperature on Properties of Nitrogen Plasma Source Ion Implantation (N-PSII) of Ti6Al4V Alloy (In Chinese) GENG Man ZHAO Qing TONG Honghui (Southwestern Institute of Physics, Chengdu, 610041) ABSTRACT Specimens of Ti6Al4V alloy were implanted with nitrogen plasma source ion implantation (N-PSII) at temperatures between 100 ℃ and 600 ℃ to a ion dose of 4 ×1017 cm-2 . Auger Electron Spectroscopy (AES) was used to determine the nitrogen concentration depth profiles. Microhardness measurements and pin-on-disk wear test were performed to evaluate the improvements of the surface modification. Glancing angle X-ray diffraction (XRD) was employed to determine the phases presented in the surface modified layer. The thickness of implanted la