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2018-02-21 发布于河南
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用LSCM 测量N90 阶梯孔深度.pdf

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用LSCM 测量N90 阶梯孔深度

Technical Report TR-2009052101 术报告发自 SMST-CTL 报告名称用LSCM 测量N90 阶梯孔深度撰写方军良审核报告编号 TR-2009052101 日期 2009-05-21 1. 背景 SME 产品N90 需要测量阶梯孔深度，阶梯孔孔径为 1.8mm，孔深为设计为280um，公差为+/-50um，测量孔低至表面金面的高度。图1 阶梯孔 2. 测试用LSCM 选择不同的参数（包括物镜，扫描步长step ，亮度等）测量某一个阶梯孔直径处孔底不同位置至金面的高度差，然后将此孔沿此孔径位置作Cross section，用金相显微镜测量孔底不同位置至金面的高度差，将两种不同的测量方法测试的结果对比分析。表1 LSCM 和金相显微镜测量结果（单位：um ）量具 LSCM 金相显微镜物镜 5X 5X 5X 5X 5X 5X 10X 20X Step 5 5 1 3 3 3 3 3 10X 物镜 20X 物镜孔底亮度 350 400 400 400 400 400 380 370 金面亮度 350 350 350 350 350 350 320 300 1 310 310 316 309 306 306 297 297 294.258 300.239 2 305 310 313 309 306 306 294 300 296.251 300.632 3 305 305 314 312 306 303 291 294 291.886 299.043 4 310 305 310 312 303 309 294 297 289.474