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第02讲 扫描电子显微镜-1 第02讲 扫描电子显微-1 概述 电子束与样品作用时产生的信号 扫描电子显微镜的构造和工作原理 样品制备 扫描电子显微镜的主要性能 表面形貌衬度及其应用 原子序数衬度原理及其应用 1. 概 述 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope --SEM)是通过细聚焦电子束在样品表面扫描激发出的各种物理信号来调制成像的显微分析技术。 SEM成像原理与TEM不同，不用电磁透镜放大成像； 新式SEM的二次电子分辨率已达1nm以下，放大倍数可从数倍原位放大到30万倍； 景深大，可用于显微断口分析，不用复制样品； 样品室大，可安装更多的探测器，因此，与其它仪器结合，可同位进行多种分析，包括形貌、微区成分、晶体结构。 2. 电子束与固体样品作用时产生的信号 样品在电子束的轰击下，会产生各种信号。 背散射电子 二次电子 吸收电子 透射电子 特征X射线 俄歇电子 背散射电子 背散射电子是指被固体样品中的原子核或核外电子反弹回来的一部分入射电子。用BSE表示。 背散射电子的强度与试样的原子序数Z有密切关系。背散射电子的产额随原子序数的增加而增加。 用作形貌分析、成分分析(原子序数衬度)(衬度：像面上相邻部分间的黑白对比度或颜色差)以及结构分析(电子通道花样)。 二次电子 在入射电子作用下被轰击出来并离开样品表面的样品原子