微接触微影法应用於选区成长垂直氧化锌奈米线阵列Fabricationof.PDFVIP

下载本文档

3
0
约2.21万字
约 5页
2018-06-06 发布于天津
举报
版权申诉

微接触微影法应用於选区成长垂直氧化锌奈米线阵列Fabricationof.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

微接触微影法应用於选区成长垂直氧化锌奈米线阵列Fabricationof

華岡工程學報第29 期民國101 年6 月中國文化大學工學院 Hua Kang Journal of Engineering Chinese Culture University 29 (2012) 178-182 微接觸微影法應用於選區成長垂直氧化鋅奈米線陣列 1 2 蘇信政林建宏 * 1 國立清華大學大學動力機械工程學系 2 中國文化大學機械工程學系 *Email: ljh13@faculty.pccu.edu.tw 摘要氧化鋅奈米線擁有豐富的優良特性，然而氧化鋅奈米線在大部分的應用上需要高度的定位成長區域，以達到良好的工作效能，因此選區成長是可以使氧化鋅奈米線進入產品化的重要因素，本研究利用微接觸微影法定義金薄膜圖形，接著以氣液固成長法選區成長垂直於基板之氧化鋅奈米線陣列，此製程方式為微接觸微影法之新穎應用，可降低選區成長垂直氧化鋅奈米線陣列之製作成本及時間消耗。關鍵詞：氧化鋅奈米線、微接觸微影法、選區成長 Fabrication of Highly Ordered ZnO Nanowire Arrays Using Microcontact Printing 1 2 H. C. Su , C. H. Lin * 1 Department of Power Mechanical Engineer, National Tsing Hua University 2 Department of Mechanical Engineering, Chinese Culture University *Email: ljh13@faculty.pccu.edu.tw Abstract ZnO one-dimension nanostructures are possessed of excellent properties, such as mechanical, piezoelectrical, gas sensing, optical, and electrical properties. Based on these TAO properties, However, most of these device applications require a high degree of precision regarding alignment, position, and size of the ZnO nanowires to obtain the good performance in purpose. In this paper, we present a novel m