微波等离子体辅助化学气相沉积法低温合成定向碳纳米管阵列.PDFVIP

V o l. 22 高 等 学 校 化 学 学 报 　N o. 5　 2 0 0 1 年 5 月 　 　　　　　　CH EM ICAL JOU RNAL O F CH IN E SE UN IV ER S IT IE S　　 　　　　　　　 73 1～ 733　 [ 研究快报] 微波等离子体辅助化学气相沉积法 低温合成定向碳纳米管阵列 陈　新　胡　征　王喜章　吴　强　陈　懿 (南京大学化学系介观材料与化学实验室, 南京大学固体微结构国家重点实验室, 南京 2 10093) 杨绍光　都有为 (南京大学物理系, 南京 2 10093) 关键词　碳纳米管阵列; 微波等离子体; 化学气相沉积; 孔性A l O 模板 2 3 ( ) 中图分类号　 6 13. 7 1　　　　文献标识码　 　　　　文章编号　025 10790 200 1 05073 103 O A [ 1 ] 自碳纳米管被发现以来 , 这种准一维纳米新材料由于其优异的力学、电学、储氢等理化性质而 显示出非常重要的理论研究与实际应用价值[2, 3 ]. 碳纳米管阵列更可作为场致发射器件, 有望应用于 [4 ] 冷阴极平板显示器或纳米电子学等前沿领域 , 成为碳纳米管研究中的热点. 在已有报道的多种制备碳纳米管阵列的方法中, 以孔性硅或孔性A l2O 3 作为模板剂, 通过化学气 [ 5～ 7 ] ( [ 6, 7 ] ) 相沉积制备的方法较为普遍 , 但此类方法往往需要在较高温度 高于 700 ℃ 下进行, 对于碳纳 米管阵列最诱人的应用前景之一 平板显示器而言, 要求在显示玻璃表面直接生长碳纳米管阵列, [4 ] 而 目前最好的显示玻璃的形变温度只有 666 ℃ , 因此实现碳纳米管阵列的低温合成十分重要. 碳纳米管的低温合成可通过等离子体辅助化学气相沉积来实现. 例如R en 等[4 ] 已通过热丝等离子 体辅助化学气相沉积, 在N i玻璃基片上于低于 666 ℃的条件下生长出了良好列线的碳纳米管阵列. 但在已有的为数极少的低温合成报道