扫描电子显微镜-中国显微图像网.PDFVIP

第二章扫描电子显微镜 2 扫描电子显微镜—— 吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子 实验室 2.1 扫描电子显微镜的特点 扫描电子显微镜的成像原理：用聚焦电子束在样品表面 扫描时激发产生的某些物理信号来调制成像，不用透镜 放大成像，类似电视或摄像的方式成像。 扫描电子显微镜的优势及特点： (1)高的分辨率，精确聚焦的电子束作为探针，超高真空技术的发展，场发 射电子枪的应用，分辨率已达到1nm左右 (2)有较高的放大倍数，20-20万倍连续可调 (3)有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不 平表面的细微结构。 (4)配有X射线能谱仪装置，可以同时进行显微组织形貌观察和微区成分分 析。 (5)试样制备简单 光学显微镜下图象景深很小，只能看清硅柱在某一高度附近的形貌，成 像质量差。 电子扫描显微镜下图象景深很大，多孔硅不同高度下都能看到清晰的 像，分辨率高，能得到完整的多孔硅形貌像。 2.2.1 弹性散射和非弹性散射 聚焦电子束入射到固体样品上时，电子运动方向发生改变，产生散射，按照 动能是否变化，可分为两类： 弹性散射：入射电子只改变方向，动能基本无变化。符合布拉格定律，携带 有晶体结构、对称性、取向和样品厚度等信息。 非弹性散射：入射电子的方向和动能都变化。入射电子损失能量伴随各种信 息产生。用于电子能量损失谱，提供成分和化学信息，也用于特殊成像或衍 射模式。 5 二次电子：发生非弹性散射时， 2.2.2电子显微镜常用的信号 被入射电子轰击出来的样品中原 子的核外电子。 特点：对试样表面状态非常敏 包括二次电子、背散射电子、X射线等 感，能有效地显示试样表面的微 观形貌。分辨率高，可达5-10nm。 收集该信号，制备扫描电子显微 镜。 入射电子 非弹性背散射电子 背散射电子：弹性、非弹性背散 射电子，反映样品表面不同取向、 不同平均分子量的区域差别，不 仅能分析形貌特征，产额随原子 序数增加而增加。 二次电子 能分析形貌特征，还能显示原子 序数衬度，进行定性成分分析。 入射电子 X射线 ：当入射电子与原子中内层电子 发生非弹性散射时也会损失其部分能 量，这部分能量将激发内层电子电离， 芯电子激发，在此过程中除了产生二次 电子外还伴随着X射线光子产生，失掉