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铝合金cmp1vit－＂口口技术分析研究-表面活性剂.pdfVIP

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  • 2018-11-16 发布于天津
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铝合金cmp1vit－＂口口技术分析研究-表面活性剂.pdf

    维普资讯显微测量微细加工技术与设备铝口合口金技术分析研究陈景刘玉岭王立发武亚红马振国河北工业大学微电子所天津摘要阐明了金属化学机械抛光的机理同时介绍了铝合金化学机械抛光过程中存在的问题并提出采用碱性抛光液进行实验分析了抛光液压力温度值参数型活性剂对铝合金圆薄片抛光过程的影响实验表明值在温度控制在压力下有利于铝合金表面完美化在抛光后期采用单一表面活性剂溶液并且无压力自重条件下抛光可以获得更为理想的合金表面关键词铝合金化学机械抛光表面粗糙度表面活性剂中图分类号文献标识码文章编号引言金材料的表面加工具

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