溶胶-凝胶法在石英基片上制备氧化锌薄膜.PDFVIP

2009 年增刊 《福建师范大学福清分校学报》 总第96 期 Sum No.96 溶胶-凝胶法在石英基片上制备氧化锌薄膜* 饶 军，庄彬平，林丽梅，瞿 燕，赖发春 (福建师范大学物理与光电信息科技学院，福建福州 350007) 摘 要：氧化锌是一种宽禁带的半导体材料，它在太阳能电池、气体传感器等各种光电子器件中有广泛 的应用前景。本文用溶胶-凝胶法制备ZnO 溶胶，再甩膜在石英基片上，最后经微波加热而获得ZnO 薄膜。分 别用原子力显微镜、分光光度计和荧光谱仪研究不同厚度薄膜的表面形貌和光学性质。实验结果表明：制备 薄膜随着薄膜厚度的增加，薄膜的生长模式由层状生长向岛状生长转变；所有薄膜在可见光范围内的透射率 都超过65% ；样品发光特性良好。 n 关键词：氧化锌薄膜；溶胶-凝胶；微波加热；表面形貌；光学性质 c 中图分类号：O484.1 文献标志码：A 文章编号：1008-3421 （2009）07-0068-03 . 1 引言 m 氧化锌是一种重要的金属氧化物，为纤锌矿结构，室温下禁带宽度约为3.37eV ，它与氮化镓以 o [1] 及碳化硅一起被称为第三代半导体材料 ；氧化锌薄膜在室温下具有较好的稳定性，同时还具有较 [2] c [3] 好的光电学性质，是常用的透明导电膜之一 ；氧化锌还广泛应用于太阳能电池、气体传感器等 领 . 域。 [1,4] 目前，制备氧化锌薄膜技术有很多种，主要有化学气相沉积法、磁控溅射法、溶胶-凝胶法等 。 m 溶胶-凝胶法制备工艺简单，制作出的薄膜均匀性较好，附着力较强，而且较易掺杂，受到研究工作者 认同。 p 本文采用溶胶-凝胶法，并配合微波加热，在石英衬底上制备不同厚度的氧化锌薄膜，研究薄 s . 膜的厚度对其表面形貌以及光学性质的影响。 2 实验制备与测量 w 按一定配比，分别用电子称、量筒和滴定管称取一定量的乙酸锌、乙二醇甲醚和乙醇胺；将量 取好的物质混于烧杯中放置在水浴锅上水浴（60℃）并充分搅拌，直至溶质完全溶解而溶液成无色 w 透明状。用离心匀胶机将制备的溶液均匀涂覆在石英衬底表面，一般每次滴入定量溶液。将匀胶后 的衬底放进家用微波炉中在100W 的功率下烧制10 分钟，这样便在基片上形成一层氧化锌薄膜。 w 根据实验需要，重复匀胶和烧制制备了层数为1、3、9 的三个薄膜样品。 用UV-2450 型双光束分光光度计在200～900nm 波长范围测量样品的透过率，利用广州本原 公司生产的CSPM4000 型原子力显微镜对薄膜表面形貌进行测量，用FLS920 型荧光光谱仪测量 样品的荧光谱。所有的测量工作都是在大气室温下进行的。 3 实验结果与讨论 3.1 形貌 图1 为烧制了不同层数ZnO 薄膜的表面形貌。从图1 （a）可知，采用溶胶-凝胶法制备的ZnO 薄膜样品表面致密、均匀、颗粒尺寸主要分布在50～100n