用MEMS加速度计作为拾音器实现乐器音效完美再现.PDFVIP

用MEMS加速度计作为拾 这些MEMS结构的尺寸为微米量级（图2），故需要精度极高的半导 体光刻和蚀刻工艺技术。MEMS结构通常采用单晶硅形成，或者采 音器实现乐器音效完美 用以极高的温度沉积到单晶硅晶圆表面上的多晶硅。采用这一灵活 的技术可以形成机械特性差异很大的结构。其中一个可以控制和可 再现 改变的机械参数是弹簧刚度。设计中还可以改变传感单元的质量以 及结构阻尼。传感器可以实现从零点几个g到数百个g加速度的感应， 作者：Rob O’Reilly, Alex Khenkin, Kieran Harney 其带宽高达20kHz。 引言 MEMS1 （微机电系统）利用专为半导体集成电路所开发的制造工艺 设施实现生产制造。微机电结构的实现方法是通过在半导体基片上 刻蚀特定的图形，来实现传感器单元或者可以移动零点几微米的机 械执行器。MEMS压力传感器是第一类批量应