国外非制冷红外焦平面阵列探测器进展.pdfVIP

第 37卷 　第 9期 　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Vo l. 37,No. 9 　 2007年 9 月 　　　　　　　　　　　　　　LA SER 　　IN FRARED Sep tem ber, 2007 　　文章编号 : 100 15078 (2007) 09080 105 国外非制冷红外焦平面阵列探测器进展 雷亚贵 ,王戎瑞 ,陈苗海 (华北光电技术研究所 ,北京 100015) 摘 　要 :非制冷红外焦平面阵列探测器是目前发展最为迅速的红外探测器种类之一 ,并已广泛 渗透到军事和民事应用中。本文重点阐述几种国外具有代表性的非制冷红外焦平面探测器的 现状及其发展趋势 。 关键词 :非制冷红外探测器 ;红外焦平面阵列 ;微测辐射热计 ;微悬臂梁红外探测器 中图分类号 : TN 2 15　　　文献标识码 : A D evelopm en t of Fore ign Uncooled IRFPA D etectors LE I Yagu i,WAN G Rongru i, CHEN M iaohai (North Ch ina R esearch In stitu te of E lectroop tics, B eij ing 100015, Ch ina) A b stract:U ncooled infrared detector is one typ e of the mo st fa st evo lved infrared detectors and has w ide m ilitary and civilian app lication s. In the p ap er, the statem ent is focu sed on the state of art and trend of several foreign rep re senta tive uncooled infrared detectors developm en t. Key words: uncooled infrared detector; infrared focal p lane array; m icrobo lom eter; m icrocan tilever detector 1　引　言 非制冷红外探测器主要包括测辐射热计 、热电 ( ( ) 由于应用需求的牵引 , 红外焦平面阵列 IRF 或铁电 探测器和热电堆探测器 ,其中微测辐射热 ) 计和铁电红外探测器生产量所 占市场份额较大 ,而 PA 探测器技术已发展到第三代水平 ,其中非制冷 IRFPA 探测器发展迅速 ,虽然 目前的性能尚不及制 前者比后者的灵敏度高很多 , 并保持上升势头 [ 1 ] 。 冷型光子探测器那样好 ,但其能够工作在室温状态 本文着重阐述典型非制冷 IRFPA 探测器 ———微测 下 ,并具有质量轻 、体积小 、寿命长 、成本低 、功耗小 、 辐射热计的发展状况 , 同时也介绍了近年出现的一 启动快及稳定性好等优点 ,满足了民用红外系统和 些新型非制冷 IRFPA 探测器技术 , 如硅 - 绝缘体