新型气体传感器及阵列文档.pptVIP

对VOC的气敏特性： 实验结果发现它们对对氯仿和丙酮都没有气敏特性。PDMEB/SnO2对醇类有较好的气敏特性，而PDMEB/In2O3则对四氢呋喃有较好的气敏特性。 可见适当的加入无机纳米粒子后的有机无机聚合物材料不仅可能使气敏特性改善，还有可能使对气体的选择性改变。 Fabrication and gas sensitivity of poly-2,5-dimethoxyethynylbenzene/SnO2 nanocomposite. Proc. SPIE, Vol. 7284, 728410 * CNT对VOC的气敏特性： 不同溶剂分散的基于CNT的QCM传感器对该溶剂的呈现出良好的气敏特性，溶剂化效应尤为明显。 Layer-by-layer assembly carbon nanotubes thin film based gas sensors for ammonia detection. Sci China Ser F-Inf Sci，accepted * 3.4 气体传感器响应动力学研究 气体传感器对气体的实时响应通常可以看做为一阶时间响应。 * 气体吸附和脱附动力学理论基础： Langmuir吸附结合Sauerbrey方程： 脱附动力学： * 传感器对甲烷气体响应动力学分析： 基于PDMEB的气体传感器对不同浓度甲烷的响应拟合 1000ppm 2000ppm 吸附达到平衡时传感器的频移量分别为7.3446Hz和14.306Hz； 对于2000ppm甲烷的吸附速率常数0.2151远大于1000ppm的 吸附速率常数0.0138，可见浓度越大，吸附越快越容易。 * 基于PDMEB有机无机复合薄膜的QCM气体传感器对1000ppm甲烷的响应拟合 基于PDMEB/SnO2敏感膜对甲烷的吸附达到平衡时传感器的频 移量最大，达到37.58795Hz，而基于PDMEB/In2O3敏感膜对甲 烷吸附达到平衡时的频移量为28.189Hz，也远高于纯聚合物材 料PDMEB对1000ppm甲烷吸附的频移量7.3446Hz，可见SnO2 和In2O3无机纳米粒子的加入提高了对甲烷的响应值。 PDMEB/In2O3 PDMEB/SnO2 * 四、传感器阵列及气体定性定量识别 SAW气体传感器阵列优点： 灵敏度高 可采用集成电路中的平面工艺制作 体积小，易于集成化、智能化 便于低成本和大批量的生产传感器阵列 阵列所选择的传感器应满足以下几个要求： 气敏传感器应有较高的灵敏度 单个气敏传感器的选择性不要求很高 传感器的稳定性十分重要 响应、恢复速度快 * 用Pt-DEB，PDMEB以及PDMEB/SnO2建立SAW气体传感器阵列，用以定性定量分析有毒气体VOC（甲醇、乙醇和异丙醇） 建立基于差动原理的SAW传感器阵列 * 基于SAW气体传感器阵列测试系统 * 传感器阵列数据处理过程： 传感器阵列 信息获取 数据预处理 特征提取 分类决策 * 信息获取：SAW传感器阵列对乙醇蒸汽的实时响应图 * 数据预处理： 气体浓度预处理：归一化 传感器信息预处理： * 特征提取： 为了全面的获得气体传感器原始动态的响应特性，采取动态信息与静态信息相结合的参数选取方法，利用传感器对不同气体不但最后响应值大小不一样，而且其响应速度也不一样，提取特定气体浓度下传感器在响应时间为t63.2时的响应值和t90时的响应值来表征传感器的响应速度，从传感器响应的数据曲线中提取最大值(max)来反应传感器的灵敏度。 * 采用BP-ANN进行分类决策： * 定性识别甲、乙、丙醇： 输出层含3个神经元，每个神经元代表一种VOC，（1，0，0）代表甲醇，（0，1，0）代表乙醇，（0，0，1）代表异丙醇 被测气体 预测结果 期望结果 50%SVC 甲醇 70%SVC 甲醇 90%SVC 甲醇 50%SVC 乙醇 70%SVC 乙醇 90%SVC 乙醇 50%SVC 异丙醇 70%SVC异丙醇 90%SVC异丙醇 1 1 1 -1.9984e-015 2.2204e-016 -4.4409e-016 5.2403e-014 1.3323e-015 4.4409e-016 -4.4409e-016 8.8818e-016 -6.6613e-016 1 1 1 -1.199e-014 -2.4425e-015 1.5543e-015 -6.8757e-014 -1.0304e-013 -1.2497e-014 2.4473e-014 1.6029e-015 1.2698e-015 1 1 1 （1，0，0） （1，0，0） （1，0