EFGH用变形反射镜介质反射膜.PDFVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! !’ ! #$% ($ 年 月 ))) ’))) *+,* -./01 23401 3(5 -316+720 80394 :; ================================================================ 文章编号 !))!? @AB)))C)!? )!D? )@ EFGH用变形反射镜介质反射膜I 熊胜 明’ 张云洞 ’ 唐晋发J 中国科学院光 电技术研究所 成都双流 信箱 B ’ AK) ’L!))DC BJ 浙江大学光 电信息工程学系光 电子薄膜研究所 ’A!))MC 摘 要 报道 7.+2激光用变形反射镜 的介质反射 多层膜 实验 N在真空镀膜机 内制备 了膜 系 @ 和 A 反射率分别为 和 在经历 D 次 P B P CP P B P CP ’ DDD)Y DDZMY N !) A 4O 3Q 4R. *S. TRU 4O 3Q V: WX4 TRU 循环后变形镜物理特性无变化 N研究了 7.+2激光辐射下热畸变和损伤特性 N分别在功率密度为 ! 和 的 激光辐照下 这两种膜系的变形镜波前变化相应为 和 K P !!Z P ’ )AM )K@ ’ [/ \] [/ \] 7.+2 ^ ^ 因此对于变形镜 ! P 激光功率密度是安全可靠 的N [/ \] 关键词 变形镜 _ 激光反射膜 _ 膜层应力循环 _ 热畸变 中图分类号 ‘ 文献标识码 @Z@@ ! . 3 随着激光技术的发展 对激光光束质量要求越来越高 自适应光学系统可用于改善激光光束质量 ’ ’ N 而 自适应光学系统中最为关键的部件是变形镜 镀制介质多层膜提高其反射率可 以改善变形镜性能 由 N N 于变形镜在使用中时刻处于应变过程之中 当变形镜发生变形时 维持膜层光学和物理特性不变是极其 ’ ’ 重要的N 由于变形镜结构和制备的独特性 研制这种特殊光学元件膜层 的文献不多见 文献 讨论 了中红 ’ ’ a!b 外氟化氘