Ru籽晶层对CoCrPt-SiO2垂直记录层形貌及结构的影响-贵金属.PDFVIP

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2018-02-28 发布于天津
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Ru籽晶层对CoCrPt-SiO2垂直记录层形貌及结构的影响-贵金属

2015 年 5 月贵金属 May 2015 第 36 卷第 2 期 Precious Metals Vol.36, No.2 Ru 籽晶层对 CoCrPt-SiO2 垂直记录层形貌及结构的影响 1 1 1 1 1 1 * 2 张俊敏，王传军，沈月，谭志龙，毕珺，闻明，周砚田 (1. 昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106 ； 2. 瓦房店轴承股份有限公司，辽宁瓦房店 116300) 摘要：采用磁控溅射方法，制备了以不同厚度Ru 薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2 垂直磁记录薄膜。利用原子力显微镜(AFM) 、透射电镜(TEM)分析 Ru 薄膜的结构和形貌，并研究了其结构对 CoCrPt-SiO2 薄膜表面形貌、粗糙度及结构的影响。结果表明，CoCrPt-SiO2 记录层的晶粒尺寸和粗糙度均随着 Ru 籽晶层厚度的增加而增加，薄而粗糙的籽晶层适合于高密度磁记录介质。对于 CoCrPt-SiO2 记录层晶粒的优化，厚度为70 nm 的Ru 籽晶层有利于记录层薄膜晶粒的完全隔离，从而提高了磁记录性能。关键词：金属材料；垂直磁记录介质；CoCrPt-SiO ；Ru 籽晶层；薄膜结构；微观形貌 2 中图分类号：O441.6 文献标识码：A 文章编号：1004-0676(2015)02-0023-06 Effects of Ru Seed Layer on Structural Properties of CoCrPt-SiO Perpendicular Media