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2018-03-07 发布于河南
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大气压下氦_氮射频放电冷等离子体特性.pdf

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大气压下氦_氮射频放电冷等离子体特性

ISSN 1000-0054 ( ) 2007 47 3 21/ 36 CN 11-2223/ N J Tsinghua Univ ( Sci Tech) , 2007, V l. 47, N . 3 389-392 大气压下氦/ 氮射频放电冷等离子体特性王华博, 　孙文廷, 　李和平, 　包成玉 ( , 100084) : 大气压射频辉光放电冷等离子体由于摆脱了真空 [ 1] 腔的限制, 在生物医学、电子业、国防等领域有非常广阔的应用前景。为了拓展等离子体形成气体的种类, 降低该技术 , 的应用成本, 对大气压下纯氮射频放电进行了研究。实验中 , , 采用13. 56 MHz 射频电源和裸露的平板电极在大气压下实现了纯氮射频辉光放电, 并比较了纯氦、纯氮和氦-氮混合气 [ 2] 体条件下的放电特性。实验结果表明, 大气压条件下, 纯氦辉光放电具有两个稳定的放电模式(A 模式和C 模式) , 而纯氮目前则只能稳定地作在C放电模式。 , , ( [ 3-5] : 等离子体物理; 大气压辉光放电; 射频; 放电模式 O2 CF4 ) : O 53 : A , ( : 1000-0054( 2007) 03-0389-04 ) [ 6] [ 7] Wang Laimer VAr ÷V = 99÷1 O Characteristics of radio-frequency glow 2 [ 8]