微机电陀螺耦合刚度的辨识-光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棿 暋 椆 暋 斨旓旍棶棽棿暋斘旓棶椆 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椂 椆 暋 暋 暋暋斢斿旚棶棽棸棻椂 旔 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椂棸椆灢棽棽棿棸灢棸椄 微机电陀螺耦合刚度的辨识 灣 棳 棳 棳 陈志勇 刘悦琛 张 嵘 周 斌 暋 暋 棬 棳 棭 清华大学精密仪器系 北京 棻棸棸棸椄棿 椇 棳 暍 暍 摘要 针对微机电陀螺耦合刚度的辨识 提出了以驱动轴 检测轴 驱动 转动耦合和驱动 检测耦合频率响应特性为基础 灢 灢 暎 棳 的耦合刚度辨识方法 设计了一种驱动轴和检测轴双向位移解耦的双质量线振动微机电陀螺 基于经过简化的梁的刚 棳 暍 暍 度特性建立了微陀螺平面运动动力学方程 导出了结构在存在耦合刚度情况下驱动轴 检测轴 驱动 转动耦合和驱动 灢 灢 暎 暎 检测耦合的传递函数 根据耦合传递函数把刚度耦合产生的根源定位到特定的几组梁之间的刚度误差 通过驱动 转 灢 棳 动耦合与驱动轴幅频特性之比辨识出驱动 转动耦合刚度系数 通过驱动 检测耦合与检测轴幅频特性之比辨识出转动 灢 灢 灢 暎 棳 检测耦合刚度系数 实验测试了设计加工的微陀螺的频率响应特性 利用提出的耦合刚度辨识方法得到陀螺的驱动 转 灢 动和转动 检测耦合刚度系数分别为 和 暎得到的耦合刚度的辨识结果可为微陀螺梁刚度的激光修调 灢 棸棶棻棿斘 棸棶棸椀棿棾棾斘 提供参数依据暎 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 微机电陀螺 耦合刚度 辨识方法 模型 频率响应 暋 暋 中图分类号椇 文献标