基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器研究-压电与声光.PDFVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ３９ ５ Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．５ 　 　 　 　 年 月 ２０１７ １０ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｏｃｔ．２０１７ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１７０５０６６２０３ 　　 基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器研究 １ ２ １ １ １ ２ 仝 杰 ，贾雅娜 ，张 薇 ，王兴隆 ，王诗月 ，王 文 　 　 　 （ 国家电网公司中国电力科学研究院，北京 ； 中国科学院 声学研究所，北京 ） １． １００１９２２． １００１９０ 摘 要：该文设计制作了一种基于磁致伸缩效应的声表面波（ ）电流传感器，采用了磁致伸缩铁钴合金 ＳＡＷ 　　 　 （ ）薄膜，并对其性能进行实验研究。传感器采用双通道 声表面波延迟线型振荡器结构，以 ＦｅＣｏ ３００ＭＨｚ １２８°犢犡 ＬｉＮｂＯ３ 为压电基片，在其表面覆盖与其温度系数极性相反的 ＳｉＯ２ 薄膜来改善器件温度稳定性，并在声传播路径 上溅射 薄膜用以感知电流量。在电流产生磁场作用下， 薄膜发生磁致伸缩应变，导致声传播速度的变 ＦｅＣｏ ＦｅＣｏ 化，进而以振荡器频率信号的改变来表征待测电流。该文通过对不同ＦｅＣｏ膜厚及不同ＦｅＣｏ薄膜长宽比的传感器 进行实验分析，以获得优化的传感功能结构。实验结果表明，在优化的 薄膜厚度（ ）和长宽比（ ）条 ＦｅＣｏ ５００ｎｍ ２∶１ 件下，所研制的声表面波电流传感器的灵敏度为 ／ 。 １２．３７５ｋＨｚＡ 关键词：声表面波（ ）；磁致伸缩效应； 薄膜；射频磁控溅射； ＳＡＷ ＦｅＣｏ １２８°犢犡ＬｉＮｂＯ３ 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ３８４ Ａ 　　　 犛狋狌犱 狅狀犛犃犠 犆狌狉狉犲狀狋犛犲狀狊狅狉犅犪狊犲犱狅狀犕犪狀犲狋狅狊狋狉犻犮狋犻狏犲犈犳犳犲犮狋 狔 犵 １ ２ １ １ １ ２ ， ， ， ， ， 犜犗犖犌犑犻犲 犑犐犃犢犪狀犪 犣犎犃犖犌犠犲犻犠犃犖犌犡犻狀犾狅狀 犠犃犖犌犛犺犻狌犲 犠犃犖犌犠犲狀