石英基材之奈米加工技术及其在压印上的应用-NationalTaiwan.PDFVIP

15 2 2006 6 23 農業機械學刊 第 卷 第 期 年 月 石英基材之奈米加工技術及其 在壓印上的應用 1 2 1 李英群 ，謝志誠 ，李冠霖 1. 國立台灣大學生物產業機電工程學研究所研究生 2. 國立台灣大學生物產業機電工程學系教授，本文通訊作者 摘 要 石英具有壓電性、絕緣性、透光性、高硬度、熱穩定性高等特性，是一種極 具發展為元件潛力之材料。在石英材料上發展微奈米機電系統技術，最大困難在 於加工困難度與非導電性所導致之電荷累積效應。本研究使用導電樹酯Espacer300 作為導電層，消除石英在電子束曝光時產生之電荷累積效應。在電子束微影完成 後，以金屬蒸鍍、lift-off 技術，配合反應性離子乾蝕刻技術，製作出具備奈米線寬 圖形之石英母模，而後於母模上進行脫模層表面處理後，進行光固化型奈米壓印， 完成圖形之轉移。在電子束微影方面，本研究成功地完成 100 奈米線寬之圖形； 在lift-off 技術方面，完成200 奈米線寬之金屬擋罩製作；在母模及壓印方面，完成 500 奈米線寬之母模及圖形轉移。 關鍵詞 ：石英、母模、電子束微影、奈米壓印、光固化型奈米壓印 NANO-MACHINING TECHNIQUE ON QUARTZ AND ITS APPLICATION TO NANOIMPRINT LITHOGRAPHY 1 2 1 Ying-Chun Lee , Jyh-Cherng Shieh , Guan-Lin Lee 1. Graduate Student, Department of Bio-Industrial Mechatronics Engineering, National Taiwan University. 2. Professor, Department of Bio-Industrial Mechatronics Engineering, National Taiwan University, Corresponding Author. ABSTRACT Quartz has the potential to be developed as a device due to its material properties including piezoelectricity, isolation, transparency, high hardness and high thermal stability. The major obstacle to MEMS and NEMS developing techniques on quartz is the machining difficulty and the charging problem resulting from isolation in the e-beam exposure process. This research utilizes the conducting polymer Espacer 300 as a conducting layer to dissipate the charging effect. After E-beam lithography, the quartz mold is fabricat