离子镀碳膜.PDFVIP

离 子 镀 碳 膜 ‘ ’ 〔 〕 英 摘 要 利 用 电弧或 电子 枪 蒸发 源 的 离子 镀 工 艺 可 成 功地 沉 积 碳膜 。 该膜 具 有 良好 的拈结 性 、 耐磨性 以 及低 的摩擦 系数。 。 、 衍 射 分析表 明 , 沉 积 的碳膜 呈 石 墨状 态 本 文 介 绍 镀膜 工 艺 膜 的 粘 结 性 、 摩擦 磨损 试验 以 及 衍 射 分析 等。 一、 月 舌 。 离子镀 的金属膜 即使 与基 体不熔合成 合金, 一般 都具有 良好 的粘结 性 这种 良好 的粘结 性对 于在 那种膜一 旦脱 落就 会产 生很 大摩擦 系数 的轴 承表面上沉 积低摩擦 膜 极为有 利 。 实验 。 二 , 卜 工 只 证 明低摩擦 是 由 在硬 质 纂 沐 沉 积软膜而 产 生 的 而 不 是膜 材料 的 固有特 性 具有六方 。 层状结 构 的材料 , 例如 和石 墨, 无论 作为 固体或表面镀膜都具有低摩擦 利用真 空 蒸 。 镀和 高温分解 含碳 的气体 , 例如 甲烷 , 即可沉 积碳膜 利 用 离子 束沉积碳膜, 可获得类金钢