开题报告—太阳能电池.ppt

晶体硅太阳能电池的表面钝化及制绒 主要内容 背景介绍 拟用方案及预定目标 表面制绒 表面钝化 其他需要考虑因素 项目进度安排 背景介绍 拟用方案及预定目标 表面制绒 表面钝化 其他需要考虑因素 项目进度安排 预定指标 拟用方案 主要内容 背景介绍 拟用方案及预定目标 表面制绒 表面钝化 其他需要考虑因素 项目进度安排 表面制绒 重要性：太阳能电池表面制绒可以有效降低太阳能电池表面的光的反射率，可以有效提高太阳能电池的效率。 关注点：因为制绒会加大太阳能电池的表面积，所以在使得反射率降低的同时要考虑到接下来对电池表面钝化的影响。 方案1：湿法制绒 方案2：干法制绒 主要内容 背景介绍 拟用方案及预定目标 表面制绒 表面钝化 其他需要考虑因素 项目进度安排 方案二 氢化亚氧化硅 目标 我们的目标是使用正常射频元（13.56MHz）低温下（200℃）生长高质量的氢化亚氧化硅（少子寿命达到500us以上） 主要内容 背景介绍 拟用方案及预定目标 表面制绒 表面钝化 其他需要考虑因素 项目进度安排 表面清洗 解决方案 使用浓H2SO4：H2O2=3：1比例的溶液煮沸进行清洗 采用标准RCA清洗 在清洗过程中尽量少接触金属 PECVD 生长钝化层 在电池正面生长钝化层的时候，电池背面接触PECVD的铝托，会对电池背面产生金属离子污染 解决方案 使用4inch的硅片制作片托，使电池与铝托不直接接触，避免铝污染 主要内容 背景介绍 拟用方案及预定目标 表面制绒 表面钝化 其他需要考虑因素 项目进度安排 项目计划安排 谢谢 * 报告人：贾广智 导师：刘洪刚 能源危机 温室效应 对新能源产生需求 优点：比太阳能和生物能源等新生能源技术成熟； 无污染，能源可再生。 缺点：地区适用性，干扰生态； 发电不稳定，受气候影响因素大。 风能 太阳能 航天 民用供电 民用照明 优点：绿色能源，无污染 在偏远地区使用不需要铺设电缆 建站周期短，规模大小随意 无噪声，不会对生态造成影响 无机械转动部件，故障率低，维护简便 缺点：光电转化率很低 ，技术不成熟 需要很大的面积，成本太高 太阳能电池优缺点 06.07年不同国家和地区太阳能电池产量及份额 01-07年世界各类太阳能电池产量的变化 仅制绒工艺后，表面反射率降到20%以下 表面制绒 单层介质钝化，少子寿命达到500us以上 表面钝化 指标 项目 1.氢化亚氧化硅钝化 2.氢化非晶硅钝化 表面钝化 1.湿法腐蚀 2.干法腐蚀 表面制绒 方案 项目 使用一定配比的碱性溶液（KOH，NaOH，四甲基氢氧化铵等）进行一定时间的各向异性腐蚀 主要是通过光刻掩模版得到图形再使用RIE进行刻蚀（主要通过C2H4和SF6） 方案3：干法制绒（无掩膜） 主要使用机器：RIE，使用气体为SF6和O2 三种方案对比 低 高 高 表面清洁度 非常大 比较小 小 制绒后表面积 非常大 比较大 小 钝化难度 非常低 高 较高 光反射率 干法制绒（无膜） 干法制绒（有膜） 湿法制绒 项目 钝化对太阳能电池效率的影响 太阳能电池的表面钝化效果通过表面复合速率Seff进行表征，可以看到随着Seff的降低，电池效率可以有大幅度的提高 测试少数载流子寿命的结构图 方案一 氢化本征非晶硅 优点：氢化本征非晶硅对N型和P型硅衬底的钝化效果都非常好，而且只需要10nm的钝化层厚度，就可以达到非常好的钝化效果 缺点：非晶硅的光吸收系数非常大，尤其是能量较高的蓝光，这就对太阳能电池的转换效率带来了不利的影响 优点：可以达到和氢化非晶硅一样的钝化效果，而且光吸收系数要比非晶硅小的多，从而可以大幅度提高太阳能电池的光转换效率。 缺点：生长条件非常苛刻，文献中介绍的都是超低温（130℃）生长，而且使用的高频的射频元（70MHz） 非晶硅和亚氧化硅的光吸收系数的对比 硅片表面会有很多的有机物和金属离子残留，会对钝化效果产生很不利的影响，从而会对太阳能电池的效率产生非常不利的影响。 使用浓H2SO4和H2O2溶液煮沸进行清洗 好处：处理速度快，操作简单，效果也不错 缺点：溶液强氧化性比较危险，对去除金属离子效果不是很好 采用标准RCA清洗 好处：效果好，是太阳能电池厂的标准清洗程序 缺点：操作复杂，水浴加热不容易控制 *