基于ModBus协议的高精度光栅位移测量仪设计-南京师范大学学报.PDFVIP

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基于ModBus协议的高精度光栅位移测量仪设计-南京师范大学学报

12 1 ( ) Vol. 12 No. 1 第 卷第 期 南京师范大学学报 工程技术版 2012 3 JOURNAL OF NANJING NORMAL UNIVERSITY (ENGINEERING AND TECHNOLOGY EDITION) 年 月 Mar ,20 12  基于 ModBus 协议的高精度光栅位移测量仪设计 1 2 1 , , 杨 玲 陈轩泽 马青玉 (1. , 210046) 南京师范大学物理科学与技术学院 江苏南京 (2 . , 210046) 南京师范大学强化培养学院 江苏南京 [ ] STC89C51 ModBus . , 摘要 采用 单片机设计了基于 协议的高精度光栅位移测量仪 根据光栅位移传感器的原理 设计光栅信 , , ; 号细分电路对光栅尺的输出信号精度进行提升 并用单片机的外部中断进行运动方向判别和位移测量 通过液晶显示结果 为 AI , ModBus 485 . LE 了和 系列仪表兼容 基于 协议进行了 数据通讯设计 用 型光栅尺在泡生法蓝宝石生长系统的应用结果表明 4 , , , 、 、 . 其测量精度提高了 倍 具有较强的抗干扰能力 可实现多仪表的工业应用 具有传输距离远 传输速率快 稳定可靠的优点 [ ] , ,ModBus , 关键词 莫尔光栅尺 单片机 协议 位移测量 [ ]TH822 [ ]A [ ]1672-1292 (2012)01-0070-06 中图分类号 文献标志码 文章编号 ModBus Protocol Based Design of High-Precision Grating Displacement Measurement Instrument 1 2 1 Yang Ling ,Chen Xuanze ,Ma Qingyu (1. School of Physics and Technology

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