56超纯氨杂质分析.ppt

超 纯 氨 杂 质 分 析 大连保税区科利德化工科技开发有限公司 　　　　　　　　　　　谭云，张琳 科利德成立于2001年，拥有一只专门从事研 制开发生产光电子材料的人才队伍，拥有特种电子 气体的工艺研发技术，超纯气体纯化技术，金属有 机化合物合成技术，高纯物质洁净包装技术及检测 技术。其产品广泛应用于大规模集成电路、平板显 示、太阳能电池、半导体照明等技术领域.并得到国 外同行的认可和尊重。 1、主要产品 高纯电子气体 高纯金属有机化合物 高纯金属烷氧基化合物 高纯金属氧化物 高纯氨产品是国家“863”计划研究成果，产品纯 度达到99.99999%以上，是半导体制造业支撑材料。 国家新产品奖 第三届中国半导体技术创新奖 大连市科技进步二等奖 辽宁省科技进步三等奖 辽宁省精特新产品等 科利德公司是国内目前唯一可以生产该纯度高 纯氨的生产厂家。产品质量得到国际上知名气体公 司法国法液空、德国林德气体等认可，并成为这些 公司电子气体供应商国内市场占有率达到10%左右。 2、主要成就 科技部十五、十一五863 科技攻关项目 国家发改委产业化示范工程项目 科技部中小企业创新基金项目 大连市重大产业化项目 3、产品应用领域 半导体照明外延片（LED） 液晶面板显示（LCD） 太阳能电池板制造（PV） 集成电路芯片(IC) 4、主要客户 浙江向日葵光能科技股份有限公司 江苏艾德太阳能科技有限公司 山东力诺光伏高科技有限公司 珈伟太阳能（武汉）有限公司 法国液化空气产品（中国）公司 林德气体有限公司 上海蓝光科技有限公司 大连美明外延片公司 质量检验 公司建立完善的质量管理体系，高纯电子气体高纯 金属有机化合物系列产品的生产通过ISO9001质量管理 体系和职业健康体系认证。 公司配备了包括 Agilent7500ICP-MS（电感耦合等 离子体质谱）、Agilent6890气相色谱仪MTO-LP水分仪 等在内的检测设备十四台，具有一批丰富经验的技术队 伍。 1、低碳经济发展的主要选择 改变经济发展模式，大幅度提高能源效率 以太阳能光伏为代表的低碳新能源技术 2、超纯氨现有的检测水平 分析检测方法和仪器灵敏度低 需要多台仪器配合才能完成，效率低 1、分析原理 脉冲放电氦离子化检测器利用载气分子在电离 室内受放射性粒子的轰击而获得能量，使自身处于 亚稳态。当有样品分子进入，与具有高能量的亚稳 态载气分子碰撞，形成离子流，在外加电场的作用 下，将收集到的离子流信号放大记录便得到被测成 分的谱峰。 2、方法的优越性 最低检测限可达10-9级 可对多中有机气体及无机气体成分进行全面分析 数据准确、可靠、分析快捷 1、分析原理 光腔衰荡光谱法是用单模连续激光使高反射镜 面组成的光腔储存能量增加,在切断光源后,储存的 能量就会随时间而衰减,衰减的速度与光腔的损失 (透射+散射+分子吸收)有关。被测分子的密度可以 通过测量两个激光频率下的衰荡速度来决定 : 式中： τ empty—没有吸收时的衰荡时间常数； τ (ν)—在激光频率ν时的衰荡时间常数； σ (ν)—分子在激光频率ν时的吸收截面 ； c—光速； N—分子密度，与绝对浓度成正比。 2、方法的优越性 灵敏度高,最低检测限下限可达10-9级浓度 快速响应速度 不需要标准气 谢 谢！ * * 一、科利德公司简介 二、超纯氨的发展要求 三、科利德对超纯氨的痕量杂志分析 四、科利德对超纯氨的微量水分分析