复合钒钼酸干凝胶薄膜湿敏元件的感湿机理.PDFVIP

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2018-11-27 发布于天津
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复合钒钼酸干凝胶薄膜湿敏元件的感湿机理.PDF

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复合钒钼酸干凝胶薄膜湿敏元件的感湿机理

6 Vol.25 No.6 2006 6 ELECTRONIC COMPONENTS MATERIALS Jun. 2006 R D 1 2 3 sol-gel H V Mo O ·nH O 1 kHz 2 8.5 3.5 32 2 RH 2.74%8 s 20 s283~303 K RH 0.4%/ H V Mo O ·nH O 2 8.5 3.5 32 2 TP212.2 A 100106-0030-03 Humidity Sensing Mechanism of Poly-vanadium-molybdenum Acid Xerogel Thin Film Humidity Elements 1 2 3 LI Li , TONG Mao-song , WENG Ai-hua (1. School of Chemistry and Chemical Engineering, Daqing Petroleum Institute, Daqing 163318, China; 2. RD Center of Well Logging Company, Daqing Petroleum Administrative Bureau, Daqing 163412, China; 3. College of Geoexploration Science and Technology, Jilin University, Changchun 130026, China) Abstract: Poly-vanadium-molybdenum acid H V Mo O ·nH O xerogel thin films humidity elements were prepared 2 8.5 3.5 32 2 by sol-gel process. There are a better linear relationship and a high sensitivity in total RH range for H V Mo O ·nH O at 1 2 8.5 3.5 32 2 kHz. The hysteric is RH 2.74%. The response time and the recovery time of the described materials when the humidity increases or decreases between 33% and 85% are 8 s and 20 s, respectively. The temperature errors of the