[工学]透射电镜成像分析.pptVIP

3.4.透射电镜成像分析 概述 3.4.1 薄膜样品的制备 3.4.2 质厚衬度成像原理 3.4.3 衍衬成像原理 概述 衬度（contrast）定义：两个相临部分的电子束强度差 ?当电子逸出试样下表面时，由于试样对电子束的作用，使得透射到荧光屏上的强度不均匀，这种强度不均匀的电子象称为衬度象 概述 金属材料中存在大量的缺陷，如：空位、杂质原子、位错、层错等，它们与金属材料中的扩散、相变、再结晶、塑性变形等密切相关 金属薄膜可以薄到2000?以下，足以让电子束穿过成像，因此，可以将内部结构显示出来 3.4.1 薄膜样品的制备 透射电镜在材料研究中所用的试样分三类： 超显微颗粒样品 金属试样的表面复型样品 金属薄膜样品 透射电镜常用的75~200KV加速电压，样品厚度控制在100~200 nm 3.4.1 薄膜样品的制备 由金属材料本身制成的金属薄膜样品具有以下优点： （1）观察和研究金属与合金的内部结构和缺陷，将同一微区进行衍衬成像及电子衍射研究，把相变与晶体缺陷联系起来 （2）进行动态观察，研究在变温情况下相变的成核和长大过程 3.4.1 薄膜样品的制备 金属薄膜制备的基本要求： 薄膜应对电子束“透明” 制得的薄膜应与大块样品保持相同的组织结构 薄膜样品应具备一定的强度和刚度 样品样品表面没有氧化和腐蚀 金属薄膜样品的制备过程：