光伏实验指导书.docVIP

实 验 课 程 名 称 实 验 指 导 书 编著  二零一一年九月 实验指导书前言内容要求 前 言 1、本课程的基本内容介绍，通过学习学生需要掌握的基本知识。 2、为了使学生更好地理解和深刻地把握这些知识，并在此基础上，训练和培养哪些方面的技能，设置的具体实验项目，其中哪几项实验为综合性、设计性实验。 3、各项实验主要了解、掌握的具体知识，训练及培养的技能。 目 录 实验一 硅片清洗实验········································4 实验二 硅片制绒实验········································7 实验三 直接带隙半导体薄膜的禁带宽度测试····················12 实验四 热探针法测试非本征半导体导电类型····················14 实验一：硅片清洗实验 实验学时：4 实验类型：验证 实验要求：必修 一、实验目的 1. 掌握用金刚刀切割硅片的方法； 2. 掌握硅片清洗液的配制方法； 3. 掌握硅片的清洗方法和步骤； 4. 掌握用金相显微镜观察硅片表面清洁度的方法。 二、实验内容 1. 用金刚刀切割硅片； 2. 配置硅片清洗液 3 清洗硅片； 4. 用金相显微镜观察硅片表面的清洁度。 三、实验原理、方法和手段 实验RCA(Radio Corporation of America)标准法清洗衬底，它是1965年由Kern和Puotine等人在N.J.Princeton的RCA实验室首创的，由此而得名。当时用RCA法清洗的硅衬底比其方法干净，至今仍被半导体行业使用的一种典型的、普遍的湿式化学清洗法 二）. 实验耗材 1. 硅片 2 金刚刀 3. 不锈钢镊子、不锈钢尺子 4.一次性塑料手套 5、载波片 6、样品盒 7. 生料带 8. 50ml聚四氟烧杯 9. 100ml量筒（玻璃、塑料） 10. 玻璃烧杯(25ml、50ml、100ml) 11. 洗瓶(玻璃、塑料) 12. 40%氢氟酸 13. 30%双氧水 14. 37%盐酸 15. 29%氨水 16. 丙酮 17. 无水乙醇 18. 去离子水 六、实验步骤 1. 用金刚刀将硅片切割成1cm×1cm大小，置于样品盒中备用； 1) 用金刚刀顺着硅片的晶向轻轻画一条直线， 2) 用手将硅片沿线掰断， 3) 将切好的硅片置于样品盒中备用。 2. 配置硅片清洗液 1) 配置0.5%氢氟酸(40%氢氟酸：去离子水＝1:80)，配置好后置于塑料细口瓶中备用； 2) 配置SC1清洗液（29%氨水：30%双氧水：去离子水=1:1:5），配置好后置于塑料细口瓶中备用； 3) 配置SC2清洗液（37%盐酸：30%双氧水：去离子水=1:1:6），配置好后置于塑料细口瓶中备用； 3. 清洗硅片： 步骤如下：1) 丙酮在常温下超声清洗10-15min，去除玻璃表面油脂等；) 无水乙醇在常温下超声清洗10-15min，去除玻璃表面残余丙酮；3) 去离子水冲洗min，去除残留乙醇；) 去离子水冲洗min，去除残留；) SC1清洗10min，去除；) 去离子水(18.2兆欧姆 )冲洗min，去除残留；) SC2清洗10min，去除；) 去离子水(18.2兆欧姆 )冲洗min，去除残留 实验二：硅片制绒实验 实验学时：4 实验类型：验证 实验要求：必修 一、实验目的 1. 掌握用金刚刀切割硅片的方法； 2. 掌握硅片制绒液的配制方法； 3. 掌握硅片制绒液的步骤； 4. 掌握用金相显微镜观察硅片表面制绒效果的方法。 二、实验内容 1. 用金刚刀切割硅片； 2. 配置硅片清洗液 3 清洗硅片； 4. 用金相显微镜观察硅片表面的清洁度。 三、实验原理、方法和手段 在光伏技术中，所谓陷光结构包括表面减反射结构、太阳电池体内光路增长结构，太阳电池组件封装结构内的光路增长结构。 绒面的反射控制理论认为，表面结构对反射率的影响取决于结构尺寸与入射光波长之间的关系。Campbell发展的讨论中考虑了表面形貌三种不同的尺度范围： （i）宏观；（ii）微观；和（iii）中间情况。在宏观尺度范围，表面形貌尺寸比光波长大。光干涉效应可以忽略不计，而光路通常近似地用这些表面形貌与光之间的相互作用来描述。这些表面形貌的几何性质可以用来驾驭光的反射或折射方向，使其控制在期望的方向上。在微观尺度范围，形貌尺寸比光波长更小，即小于0.1μm。这种形貌可以用‘逐级折射率’方法处理，这里真实表面的剖面用一系列层来近似描述，每层由不同的两种介质组成。这种形貌尺寸在捕获光线方面不是特别有效，其作用就象在平面上涂覆逐层改变折射率的涂层一样。 对于中间尺度情况(0