利用快速模具技术制作压电式无阀门微泵浦之可行性探讨.PDFVIP

工程應用技術學刊 第一卷第二期 利用快速模具技術製作壓電式無閥門微泵浦之可行性探討 1 2 3 楊政穎 吳明勳 張晨鋒 1 中州科技大學機械與自動化工程系 cyyang@.tw 2 中州科技大學機械與自動化工程系 wums@.tw 3 國立高雄應用科技大學模具工程系暨研究所 yashikis@ 摘 要 本文利用快速成型與快速模具技術製作壓電式無閥門微泵浦，主要的目的在於建立製作 程序並探討其性能。首先利用 3D 列印技術之液態類快速成型系統，以光硬化樹脂為材料， 製作微流道結構之原型，並將壓電片蜂鳴器與此微流道結構以適當方式黏合。此微泵浦原型 機可以成功地以電壓 20~80Vpp 、頻率 40~190Hz 之方波或弦波來驅動並輸送流體。接著利用 RP微流道結構為母型，並利用矽膠模具，以 ABS 為材料製作相同尺寸之微流道結構，再將 壓電片蜂鳴器與其黏合。此 ABS微泵浦可以成功地以電壓 20~80Vpp 、頻率 40~300Hz 之方 波或弦波來驅動並輸送流體。本研究所製作的微泵浦屬於具漸張／漸縮管之無閥門微泵浦， 其漸張／漸縮管之漸縮端寬 200μm ，擴散角度 8° 、微流道長為 2400μm 、深 250μm 。壓電片 蜂鳴器與微流道結構間採用雙面膠搭配 AB膠黏合。對光硬化樹脂為材料之微泵浦原型機而 言，以 80Vpp 之方波驅動時，最佳頻率約為 130Hz ，最大流量約為 530μl/min ，最大背壓為 685Pa 。對 ABS微泵浦而言，以 80Vpp 之方波驅動時，最佳頻率約為 140Hz ，最大流量約為 815.6μl/min ，最大背壓為 1037Pa 。由於快速成型與快速模具技術製作微泵浦元件無需使用無 塵室，所使用設備、耗材相對而言較為便宜，其製作程序簡便。 此一製作方式具有發展價值。 關鍵字：快速成型、快速模具、壓電式無閥門微泵浦 通訊作者 姓名：吳明勳 E-mail: ：wums@.tw 71 Journal of Applied Engineering Technology Vol.1 No.2 壹、前言 過去二、三十年中，由於電子元件製程方法及技巧的大幅度進步，使得各種元件的微小 化遂成為科學發展中一重要課題。而此項微小化之技術即為近年來許多熱門的話題之一：微 機電技術（ MEMS ）。微機電系統是一個跨領域的技術整合系統，因必須結合電子、電機、機 械、化學與光電等不同領域之專業理論，並加以微小化、積體化而成為一具有專業功能之系 統。近幾年微機電系統在光電、通訊、生醫、生物科技等領域的應用逐漸被發展出來，成為 最熱門的研究領域之一。微機電技術所發展出來的微細精密製造技術，如光蝕刻微影 （photo-lithography ）、X 光深刻模造（LIGA ）等方法，使得我們可以製造出微米，甚至次微 米的零件和結構。但是這些微機電的主流製程多半需於無塵室中進行，設備相當昂貴並且流 程複雜，一般而言需要受過相當訓練才能操作。此外，受到這些製程技術之限制，對於幾何 形狀複雜之零件的製作過程也十分繁複。因此，在微機電系統製造與開發過程中，一些相對 便宜而簡單的傳統製程是否也能扮演重要的角色，也逐漸引起一些探討。 本研究希望利用快速成型（ RP ）與快速模具（ RT ）技術製作微泵浦。在現今競爭激烈凡 事講求效率的工業時代，產品的開發和製作必須朝向省時、快速與降低成本，而快速成型技 術符合「快速」及「省時」之條件。其優點在於只要付出極少