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液体微小流量精密定量泵／流量控制器
儀器
儀器 液體微小流量精密定量泵／流量控制器
租賃
租賃 應用：塗布機、光阻液添加、黏著劑、小量填充
高效能 防爆 化學惰性 低壓 模組
泵 量 定 應用：塗布機，油墨充填，CVD precursor，光阻液添加劑，黏著劑，水銀，
潤滑油脂，分析儀器，藥品，燃料電池，醫療 化學實驗室，半導體晶圓製造，
樹脂，生化研發製程等。
位 液
量 流 體 液
量 流 體 氣
正 校
力 壓
質 品 氣 空
度 濕 溫
析 分
漏 測
新北市五股區中興路四段33號 TEL : (02)2292-0001 .tw
2
高雄市中正三路93號10樓之2 TEL : (07)281-4799 E-mail:sales@.tw
儀器
液體微小流量精密定量泵／流量控制器 儀器
租賃
應用：塗布機、光阻液添加、黏著劑、小量填充 租賃
MZR-4661磁密封 - 微小環形齒輪泵 MZR-2905/4605 - 微小流量定量模組
●流速範圍：4.8 ~ 72 ml/min；速度範圍：400 ~ 6,000 rpm (含控制器、馬達、幫浦)
●最大系統壓力：6 bar（入口壓力+壓差）；位移量：12 μl ●應用：微量UV黏著劑，EXPOXY，固定劑，矽膠，潤滑油脂等
●差壓範圍：0 ~ 3 bar（44 psi） ●最小定量體積：0.5μl (0.0005 cc)；精度：CV 1％
●脈衝：6％ ●差壓範圍：0 ~ 10 bar (water，1 mPas)；
●粘度範圍：0.3 ~ 100 mPas 0 ~ 40 bar(oil，16 mPas)
●密封材質：氟橡膠 ●初始氣壓：0 ~ 5 bar (73 psi)
●流體連接：外徑2 mm 的滑移接頭 ●粘度範圍：可達50,000 mPas（最多100,000 mPas） 泵 量 定
●接液部件： ●加劑針接頭：Luer-Lock公頭；容器連接：Luer-Lock母頭
不鏽鋼 316/318，陶瓷，硬質合金， ●接液部分：不鏽鋼，鎳基碳化鎢
鎳基碳化鎢，環氧樹脂，鎳
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