第4章mems设计中的尺度效应.ppt

对于磁通量为φ的磁场中的带电导体，N匝线圈产 生的电动势为 由电磁学可得 或 产生的电磁力为 恒定电流流动情况，则电磁力表示为 由电磁力表达式和i∝l2，得电磁力的尺度为 F∝(l2)(l2)=l4 reducing the wire length by half (1/2) result in reduction of F by 24 = 16 times, This is the reason why electromagnetic forces are NOT commonly used in MEMS and microsystems as preferred actuation force. 5.电学中的尺度 电是MEMS和微系统的主要能源 电主要应用在许多微系统的静电、压电、热阻加热驱动上 电在微系统中的应用 电动力泵 机电转换 电的尺度规律是一个很重要的设计问题 从物理规律得出电的尺度规律： 电阻： ρ、L和A分别是电阻率、长度和导体的横截面积 电阻功率损失： 其中 V是所加电压∝(l)0 电场能： 其中 ε为电介质的介电系数∝(l)0 E是电场强度∝(l)-1 由电阻功率损失的表达式可知，由于材料的电阻引起的功率损失服从一阶定律，即P∝l1 对一个带有电