第三章电子显微学衍衬成像理论1.ppt

4.4 电子显微学衍衬成像理论 杜伟 duweiytu@ 通常“像”应该和真实的物相像，用可见光照明时，玻璃透镜成的像与物的表面完全相似。成像过程：通过物表面对光的折射和反射，直接成像。 电子显微像比较复杂，入射到样品中的电子束受到原子的散射在样品下表面的出射电子波中除透射束外，还有受晶体结构调制的各级衍射束，它们的振幅和相位都发生了变化。依照选取成像信息（用透射束或衍射束成像）的不同，所获得的电子显微像的衬度出现了不同机制。 质厚衬度产生的原因 元素的种类不同对电子的散射能力就不同。重元素比轻元素的散射能力强，成像时被散射到光阑以外的电子多，重元素成的像比轻元素的像暗，试样越厚，对电子的吸收越多，相应部位的参与成像的电子就越少，所以厚样品的像比薄样品的像暗。 在复型样品、非晶态物质、合金中的第二相看到的衬度都属于此类。 4.4.1 基本概念 1、柱体近似 4、偏离参量 在稍厚的薄膜试样中观察电子衍射时，经常会发现在衍射谱的背景衬度上分布着黑白成对的线条。这时，如果旋转试样，衍射斑的亮度虽然会有所变化，但它们的位置基本上不会改变。但是，上述成对的线条却会随样品的转动迅速移动。这样的衍射线条称为菊池线，带有菊池线的衍射花样称之为菊池衍射谱。 菊池花样在晶体材料分析方面，广泛用于物相鉴定、衬度分析、电子束波长以及临界电压的测定等。它更重要的一个应用是用来精确测定晶体取向，用菊池线