ito靶材的断口分析-有色金属冶炼部分.docVIP

ITO靶材的断口分析 曾纪术，陈锦全，杨眉，吴伯增 （广西华锡集团股份有限公司，广西柳州 545006） 摘要：对国产与日本两种ITO靶材进行全面的分析对比对ITO靶材的断口形貌与靶材黑化结瘤之间的关系进行了探讨。结果表明国产靶材与日本靶材的相对密度、电阻率、失氧率等参数比较接近二者均为单一晶相的固溶体国产靶材的断面为解理+韧窝的脆韧混合断裂断裂面晶界上出现了粒径较大的无规则颗粒物而日本靶材断面为解理脆性断裂断裂面晶界清晰，无颗粒物出现。 关键词：ITO靶材；断口；混合酸；结瘤Fracture Morphology Analysis of ITO Target ZENG Ji-shu, CHEN Jin-quan, YANG Mei, WU Bo-zeng (Guangxi China-Tin Group Corporation Limited, Liuzhou 545006, Guangxi, China) Abstract：Two ITO target samples provided and Japan were thoroughly analyzed and compared. The relationship between fracture morphology and mechanism of nodule formation of ITO target were