[信息与通信]SEM原理参考.pdfVIP

Scanning Electron Microscope 掃描式電子顯微鏡 啟梅 Scale of The World Microscopy What can SEM do? What can SEM do? 影像或 分析儀 訊號 偵測器 用途 SEI （Secondary Electron Image ） 二次電子 E-T 表面形貌 BEI （Backscattered Electron Image ） 背向散射電子 Solid state 原子序對比 EDS （Energy Dispersive Spectrum ） X-ray訊號 Si-Li or Ge 元素分析 WDS （ Wavelength Dispersive X-ray訊號 比例計數器 高解析元素 S