[工学]应变式传感器及其应用.ppt

4.应变片的粘贴技术 基本步骤如下: ⑴应变片的检查 ⑵试件的表面处理 ⑶确定贴片位置 ⑷粘贴应变片 ⑸固化处理 ⑹粘贴质量检查 ⑺引出线的固定与保护 ⑻防潮防蚀处理 2.2.2?测量转换电路 1.应变片测量应变的基本原理 用应变片测量应变或应力时，根据上述特点，在外力作用下，被测对象产生微小机械变形，应变片随着发生相同的变化，同时应变片电阻值也发生相应变化。当测得应变片电阻值变化量?R时，便可得到被测对象的应变值。根据应力与应变的关系，得到应力值σ为 σ=E·ε 应力值σ正比于应变?，而试件应变? 正比于电阻值的变化，所以应力σ正比于电阻值的变化，这就是利用应变片测量应变的基本原理。 2.测量转换电路 最常用的电路为直流电桥和交流电桥。下面以直流电桥电路为例，简要介绍其工作原理及有关特性。 一般采用全等臂形式，即R1=R2=R3=R4=R， 上式可变为 ⑴ 半桥单臂工作方式 ⑵半桥双臂工作方式 ⑶全桥4臂工作方式 3.电桥的线路补偿 ⑴ 零点补偿 ⑵温度补偿 2.3.3?应变式传感器应用实例 1.应变式测力与荷重传感器 ⑴柱式力传感器 ⑵ 梁式力传感器 2.压力传感器 3.位移传感器 1.测头 2. 支架 3. 弹簧 4.外壳 5.导杆 6. 旋钮 4.加速度传感器 1. 质量块 2.悬臂梁 3.阻尼 4.应变片 …… 2.4 固态压阻式传感器 2.4.1半导体压阻效应 固体材料受到压力后，它的电阻率将发生一定的变化，所有的固体材料都有这个特点，其中以半导体最为显著。当半导体材料在某一方向上承受应力时，它的电阻率将发生显著的变化，这种现象称为半导体压阻效应。 2.4.2 扩散型压阻式传感器 1.扩散型压阻式压力传感器 压阻式压力传感器主要由外壳、硅杯膜片和引线组成，其结构如图2-35所示。压阻式压力传感器的核心部分是一块圆形或方形的硅膜片，在硅膜片上，利用集成电路工艺制作了四个阻值相等的电阻。硅膜片的表面用SiO2薄膜加以保护，并用铝质导线做全桥的引线，硅杯膜片底部被加工成中间薄（用于产生应变）、周边厚（起支撑作用）的形状 测量原理：在一块圆形的单晶硅膜片上, 布置四个扩散电阻, 组成一个全桥测量电路。如图2-22（d）、（e）所示。膜片用一个圆形硅杯固定, 将两个气腔隔开。一端接被测压力, 另一端接参考压力，如图2-22（b）所示。当存在压差时, 膜片产生变形, 使两对电阻的阻值发生变化, 电桥失去平衡, 其输出电压反映膜片承受的压差的大小。 压阻式压力传感器的主要优点是体积小, 结构比较简单, 动态响应也好, 灵敏度高, 能测出十几帕斯卡的微压, 它是一种比较理想、目前发展和应用较为迅速的一种压力传感器。 2.压阻式加速度传感器 小 结 应变式电阻传感器的工作原理为电阻应变效应，金属电阻应变片主要是由于导体的长度和半径发生改变而引起电阻变化，半导体电阻应变片是由于其电阻率发生变化而引起电阻变化（即压阻效应）。 应变式电阻传感器采用桥式测量转换电路，一般采用全桥形式，其输出电压为： 全桥形式具有温度自补偿功能。 应变式电阻传感器广泛应用在力、加速度等有关物理量的测量中。 在完成非电量到电量的变换过程中，并非所有的非电量参数都能一次直接变换为电量，往往是先变换成一种易于变换成电量的非电量（如位移、应变等），然后，再通过适当的方法变换成电量，所以，把能够完成预变换的器件称为敏感元件。在传感器中，建立在力学结构分析上的各种类型的弹性元件（如梁、板等）称为敏感元件，统称为弹性敏感元件。而转换元件是能将感觉到的被测非电量参数转换为电量的器件，如应变计、压电晶体、热电偶等。转换元件是传感器的核心部分，是利用各种物理、化学、生物效应等原理制成的。新的物理、化学、生物效应的发现，常被用到新型传感器上，使其品种与功能日益增多，应用领域更加广阔。 应该指出的是，并不是所有的传感器都包括敏感元件与转换元件，有一部分传感器不需要起预变换作用的敏感元件，如热敏电阻、光电器件等。 * 1、 传感器的概念2、传感器的组成 回顾与复习 第2章 应变式传感器及其应用 2.1 弹性敏感元件 2.2 应变式电阻传感器原理及测量电路 2.3 应变式电阻传感器的使用注意事项 2.4 应变式电阻荷重传感器 2.5 应变式电阻加速度传感器 力敏元件 力 2.1 弹性敏感元件 2.1.1 弹性敏感元件的特性参数 2.1.2 弹性敏感元件的分类 物体在外力作用下改变原来尺寸或形状的现象称为变形。若外力去掉后物体又能完全恢复其原来的尺寸或形状，这种变形称为弹性变形。具有弹性变形特性的物体称为弹性元件。 根据弹性元件在传感器中的作用，可