电容式电感式传感器.ppt

6 电感式传感器 电感式传感器的工作原理：它是利用电磁感应原理，通过线圈自感或互感的变化，实现非电量的电测。 用途及特点：常用来测量位移、振动、压力、应变、流量、比重等物理量参数。 优点：具有结构简单、工作可靠、寿命长、使用范围广 缺点：存在交流零位信号，不适宜高频动态测量。 分类：按工作原理分为自感式（可变磁阻式）、互感式（差动变压器式）、电涡流式三种。 6.1 自感型传感器 自感式电感传感器是一种改变自感系数的传感器。原理图如下图。它由线圈、铁芯及衔铁组成。在铁芯和衔铁之间有空气隙δ。（可变磁阻式） 一、工作原理（可变磁阻式） 根据电磁感应定律，当线圈中通以电流i时，产生磁通，其大小与电流成正比，即： 式中，W—线圈匝数;? L—线圈电感，单位为亨H 根据磁路欧姆定律，磁通φm为： 式中iW ——磁势，A Rm ——磁阻，H-1 于是得到： 如果空气隙δ较小，而且不考虑磁路的铁损时，则磁路总磁阻为： 式中：?l—导磁体 (铁芯)的总长度(m)； μ—铁芯导磁率(H/m)； A—铁芯导磁横截面积(m2)，S＝a×b; δ—空气隙长度(m); μ0 —空气导磁率； A0—空气隙导磁横截面积(m2)。 因为μμ0，则: 因此，自感L可写为： 上式表明，自感L与气隙δ成反比，而与气隙导磁截面积A0成正比。当固定A0不变，变化δ时（称为变气隙式自感传感器），L 与δ呈非线性（双曲线）关系，如图所示。 将上式对δ求导，得变气隙式传感器的灵敏度为 可见：灵敏度S与气隙长度的平方成反比，δ愈小，灵敏度愈高。由于S不是常数，故会出现非线性误差，为了减小这一误差，通常规定δ在较小的范围内工作一般取 。 当气隙的增量 时，灵敏度S趋于定值，即输出与输入近似成线性关系。在实际应用中，一般取 ，这种传感器适用于较小位移的测量，一般约为0.001～1 mm。 若将变气隙式自感传感器的气隙厚度δ保持不变，使气隙导磁截面积A随被测非电量而变，即构成变面积式自感传感器。如图 将式 对A0求导，得其灵敏度S为： 即变面积式自感传感器输出特性呈线性，因此测量范围大。但与变气隙式相比，其灵敏度S较低。欲提高灵敏度，初始气隙厚度δ不能过大，但同样受工艺和结构的限制，δ的选取与变气隙式相同。 螺管式自感传感器 其结构原理如图所示，它由螺管、线圈、衔铁等组成，随着衔铁插入的深度的不同引起线圈电感量发生变化。 螺管式自感传感器又分单螺管式和双螺管差动式两种 螺管式自感传感器与前两种传感器相比，具有以下特点： ⑴结构简单，制造装配容易； ⑵由于磁路大部分为空气，易受外部磁场干扰； ⑶由于空气隙大，磁路磁阻大，故灵敏度较前两种低，但线性范围大； ⑷由于磁阻高，为了达到某一电感量，需要的线圈匝数多，因而线圈分布电容大； ⑸要求线圈框架尺寸和形状必须稳定，否则影响其线性和稳定性。 差动式自感传感器 上述三种自感式传感器，由于线圈电流的存在，衔铁上始终作用有电磁吸力，影响测量准确度；而且易受电源电压、频率的波动与温度变化等外界干扰的影响，因此不适合精密测量。为了克服上述缺点，所以现在大都采用差动式。 差动变气隙式传感器的结构原理如图（a）所示。它由两个完全相同的电感线圈W1和W2组成，在两个铁芯中间有一个公用衔铁。衔铁处在中间位置时，δ1=δ2 =δ0，两边气隙相等，电感量L1=L2=L0，由于采用差动连接方法，传感器总的电感量为△L= L1—L2=0，所以传感器输出电压(总的自感电动势)为零，见图（b）。 当衔铁偏离中间位置时，两边气隙的大小改变使δ1 ≠ δ2 ，若位移使L1线圈的电感从中间位置时的L0增大为（L0+△L1），L2线圈的电感减小为（L0—△L2）。则总的电感为 △L=L1－L2=（L0+△L1）－（L0－△L2） =△L1+△L2 若衔铁位移很小，则△L1=△L2=△L，故△L≈2△L单。 可见，当衔铁位置左右移动时，可使两个线圈的间隙按 变化，一个线圈自感增加，一个线圈自感减少。又如果将两线圈接于电桥的相邻桥臂，其输出灵敏度可提高一倍，并改善了线性特性。 下图是双螺管线圈差动型，较之单螺管线圈型有较高灵敏度及线性，被用于电感测微计上，其测量范围为0～300μm，最小分辨力为0.5μm。这种传感器的线圈接于电