Bi2Ti2O7薄膜的制备及在栅场效应管中的应用.pdf

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2018-11-27 发布于天津
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Bi2Ti2O7薄膜的制备及在栅场效应管中的应用

27 1 ( ) Vol. 27No. 1 2006 1 Journal of Jishou University ( Natural Science Edition) Jan. 2006 : 1007 2985( 2006) 01 0107 03 Bi Ti O 2 2 7 杨朝霞 ( , 416000) :采用化学溶液沉积法, 用价格低廉的原料成功地制备了Bi Ti O 介质膜. 制膜过程简 , 成本低廉, 得到的薄 2 2 7 膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数.用其制备的绝缘栅场效应管与相同尺寸的SiO 绝缘栅场效应管相比,前者具有较 2 高的跨导和较低的开启电压. : Bi Ti O 薄膜;介电常数; 绝缘栅场效应管 2 2 7 : O646.54 : B , Bi4Ti3O12 , Bi2Ti2 O7 , Bi20Ti2 O20 . Bi2Ti2 O7 [ 1] a = b= c = 2. 068 nm, , Bi2Ti2 O7 ; Bi2Ti2 O7 [ 2] , ( DRAM) , , . , Bi2Ti2 O7 , , , , . , SrTiO [ 3 4] , Ba Sr TiO [ 5 8] 3 x 1 x 3 , Bi Ti O . Bi Ti O , 2 2 7 2 2 7 . 1 1. 1 Bi Ti O 2 2 7 ( Bi( NO ) 5H O) , . 3 3 2 , , Bi Ti 11, , , , BiTi O . , , BiTi O n Si ( 100) 2 2 7 2 2 7 , 8 min 350 , 25min ( Ti, Bi, O ) . , , Bi Ti O . 2 2 7 , . 1. 1. 2 Bi2Ti2O7 , Bi Ti O , 2 2 7 . 2 . , Bi Ti O 2 2 7 :2005 03 11 : ( 1973 ) , ( ) , , , . 108 ( ) 27 16. 3 Bi Ti O . 2 2 7 1 Bi Ti O 2 Bi